[發明專利]檢測裝置、測量裝置、光刻裝置和制造物品的方法有效
| 申請號： | 201610262881.3 | 申請日： | 2016-04-26 |
| 公開（公告）號： | CN106094442B | 公開（公告）日： | 2019-06-11 |
| 發明（設計）人： | 前田普教 | 申請（專利權）人： | 佳能株式會社 |
| 主分類號： | G03F7/20 | 分類號： | G03F7/20;G03F9/00 |
| 代理公司： | 中國國際貿易促進委員會專利商標事務所 11038 | 代理人： | 宋巖 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 檢測 裝置 測量 光刻 制造 物品 方法 | ||
【權利要求書】：
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