[發明專利]一種吸附提純甲硅烷的方法

有效

• 申請號: 201610259934.6
• 申請日: 2016-04-18
• 公開（公告）號: CN105712351B
• 公開（公告）日: 2017-12-19
• 發明（設計）人: 王琪宇;王新
• 申請（專利權）人: 張玲
• 主分類號: C01B33/04
• 分類號: C01B33/04
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種金屬間卟啉二酯類絡合物吸附劑提純甲硅烷的方法，其特征在于包括以下步驟：

步驟1.吸附劑的制備：

將聚醋酸乙烯酯顆粒移入通以氮氣流的管式電爐中熱解，以每小時50-80℃ 的升溫速度從室溫緩慢升溫至600-1000℃，升溫結束后將氮氣切換成流量為 3L-8L/小時的水蒸氣活化處理2-10小時，產物冷至室溫，得到吸附劑載體；將吸附劑載體在N，N-二甲基甲酰胺中浸泡5-20h，載體與N，N-二甲基甲酰胺的質量比為1∶1-1∶10，然后在N，N-二甲基甲酰胺中加入占載體質量1-5％的醋酸鈷， 加入占載體質量1-5％的間卟啉二甲酯，加入占載體質量1-5％的銻化錳，攪拌下混合均勻，20-80℃反應0.5-2h，產物經分離、用乙醇清洗，烘干，得到所述的吸附劑；

步驟2.吸附提純甲硅烷：

在-50～-30℃，0.2-1MPa條件下，工業級甲硅烷經過裝有吸附劑的層析柱中進行吸附，流速1-5BV/h，得到高純甲硅烷產品。