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[發明專利]一種三軸聲表面波加速度傳感器在審

專利信息
申請號: 201610258658.1 申請日: 2016-04-22
公開(公告)號: CN105954541A 公開(公告)日: 2016-09-21
發明(設計)人: 王文;黃楊青;劉鑫璐;薛蓄峰 申請(專利權)人: 中國科學院聲學研究所
主分類號: G01P15/09 分類號: G01P15/09
代理公司: 北京億騰知識產權代理事務所 11309 代理人: 陳霽
地址: 100190 *** 國省代碼: 北京;11
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摘要:
搜索關鍵詞: 一種 三軸聲 表面波 加速度 傳感器
【說明書】:
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