[發明專利]一種制備透明導電電極的方法

有效

• 申請號: 201610257256.X
• 申請日: 2016-04-22
• 公開（公告）號: CN105788760B
• 公開（公告）日: 2017-10-27
• 發明（設計）人: 陳初群
• 申請（專利權）人: 陳初群
• 主分類號: H01B13/00
• 分類號: H01B13/00;H01B5/14
• 代理公司: 北京中政聯科專利代理事務所(普通合伙)11489
• 代理人: 曹軍

1.一種制備透明導電電極的方法，包括：

1)制備透明導電材料；

2)形成反應區域：在透明導電材料的導電層上形成反應區域；

3)導入反應氣體進行反應：向反應區域導入反應氣體，使反應區域內的導電層與反應氣體發生反應；

4)獲得透明導電電極：反應結束后，向反應區域通入保護氣體除去反應區域內的殘余反應氣體，即得透明導電電極；

所述步驟2)3)4)采用透明導電電極加工裝置進行，所述透明導電電極加工裝置包括模板體、吸附平臺和用于將模板體壓緊在吸附平臺上的壓緊件，所述模板體為平板型，模板體設置在吸附平臺上，模板體上設置有密封環、接觸件和通氣孔，所述密封環和接觸件固定在模板體靠近透明導電材料的一側，所述接觸件位于密封環內，所述密封環和接觸件之間形成非接觸腔，所述通氣孔設置在模板體非接觸腔處，通氣孔為兩個以上；

所述步驟1)具體為：通過旋涂、噴涂、印刷、自組裝、氣相沉積、液相沉積或電鍍工藝在透明基材上形成導電層；

所述步驟2)具體為：透明導電材料置于吸附平臺上，模板體上的密封環和接觸件抵持在透明導電材料的導電層上并壓緊，非接觸腔在透明導電材料上形成反應區域；

所述步驟3)具體為：通過模板體上的通氣孔向反應區域導入反應氣體，反應區域內的導電層與反應氣體進行反應；

所述步驟4)具體為：通過模板體上的通氣孔向反應區域通入保護氣體除去反應區域內的殘余反應氣體，除去模板體，即得透明導電電極。

2.如權利要求1所述制備透明導電電極的方法，其特征在于，所述透明基材為玻璃、高分子透明薄膜或高分子片材。

3.如權利要求1所述制備透明導電電極的方法，其特征在于，所述導電層為一維納米導電材料、二維納米導電材料、金屬網格透明導電材料、透明導電高分子材料和金屬氧化物系透明導電材料中一種或幾種。

4.如權利要求3所述制備透明導電電極的方法，其特征在于，所述一維納米導電材料為金屬納米線透明導電材料、碳納米管透明導電材料、納米金屬帶透明導電材料或納米金屬棒透明導電材料。

5.如權利要求4所述制備透明導電電極的方法，其特征在于，所述金屬納米線透明導電材料中金屬納米線為銀、鎳、銅、鈀、鉑、金、鈷和鐵中任一種單質金屬納米線或幾種的合金金屬納米線納米銀線；所述金屬網格透明導電材料中金屬網格為銀、鎳、銅、鋁、鈀、鉑、金、鈷和鐵中任一種單質金屬網格或幾種的合金金屬網格。

6.如權利要求3所述制備透明導電電極的方法，其特征在于，所述二維納米導電材料為納米金屬薄膜透明導電材料或碳系透明導電材料。

7.如權利要求1所述制備透明導電電極的方法，其特征在于，所述反應氣體為臭氧、水蒸氣、雙氧水、有機胺、氨氣、鹵素氣體及其化合物、二氧化碳、有機酸、硝酸、鹽酸、硫蒸氣和硫化物蒸氣中一種或幾種。

8.如權利要求1所述制備透明導電電極的方法，其特征在于，所述保護氣體為氮氣、空氣和惰性氣體中一種或多種。

9.如權利要求2-8任一項所述制備透明導電電極的方法，其特征在于，

1)制備透明導電材料；

2)形成反應區域：在透明導電材料的導電層上形成反應區域；

3)導入反應氣體進行反應：向反應區域導入反應氣體，使反應區域內的導電層與反應氣體發生反應；

4)獲得透明導電電極：反應結束后，向反應區域通入保護氣體除去反應區域內的殘余反應氣體，即得透明導電電極；

所述步驟2)3)4)采用透明導電電極加工裝置進行，所述透明導電電極加工裝置包括模板體、吸附平臺、用于將模板體壓緊在吸附平臺上的壓緊件和柔性保護膜，所述模板體為平板型，模板體設置在吸附平臺上，模板體上設置有密封環、接觸件和通氣孔，所述密封環和接觸件固定在模板體靠近透明導電材料的一側，所述接觸件與透明導電材料接觸處內凹有壓力腔，所述接觸件位于密封環內，所述密封環和接觸件之間形成非接觸腔，所述通氣孔設置在模板體非接觸腔處，所述通氣孔為兩個以上；所述吸附平臺對應模板體的非接觸腔處設置有導氣孔，所述柔性保護膜設置在吸附平臺和模板體之間；

所述步驟1)具體為：通過旋涂、噴涂、印刷、自組裝、氣相沉積、液相沉積或電鍍工藝在透明基材上形成導電層，并在透明導電材料對應吸附平臺導氣孔處開通孔；

所述步驟2)具體為：透明導電材料置于吸附平臺上，在透明導電材料上覆蓋柔性保護膜，模板體上的密封環和接觸件抵持在柔性保護膜上并壓緊，柔性保護膜與透明導電材料在非接觸腔處形成反應區域；

所述步驟3)具體為：通過導氣孔向反應區域導入反應氣體，使反應區域內的柔性保護膜鼓泡形成反應空間，反應空間內的導電層與反應氣體進行反應；

所述步驟4)具體為：通過導氣孔向反應空間通入保護氣體除去反應空間內的殘余反應氣體，除去模板體和柔性保護膜，即得透明導電電極。