[發(fā)明專利]一種基于聲光低頻差移相的雙孔外差干涉儀有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201610236674.0 | 申請日： | 2016-04-15 |
| 公開（公告）號： | CN105698702B | 公開（公告）日： | 2019-04-23 |
| 發(fā)明（設計）人： | 張文喜;李楊;相里斌;伍洲;孔新新;呂笑宇;劉志剛;郭曉麗 | 申請（專利權(quán)）人： | 中國科學院光電研究院 |
| 主分類號： | G01B11/24 | 分類號： | G01B11/24 |
| 代理公司： | 北京凱特來知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11260 | 代理人： | 鄭立明;鄭哲 |
| 地址： | 100080 *** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 基于 聲光 低頻 差移相 外差 干涉儀 | ||
1.一種基于聲光低頻差移相的雙孔外差干涉儀，其特征在于，包括：激光器、兩塊半波片、偏振分光鏡、兩個聲光移頻器、兩個光纖耦合器、兩根保偏光纖、兩個分光鏡、準直鏡、標準鏡、待測鏡、濾波孔、兩個成像鏡及兩個探測器；其中：
激光器出射激光經(jīng)過半波片1后射入偏振分光鏡，由偏振分光鏡將入射激光分為兩束激光；其中一束激光經(jīng)過聲光移頻器1后由光纖耦合器1耦合進入保偏光纖1；另一束激光依次經(jīng)過半波片2與聲光移頻器2后由光纖耦合器2耦合進入保偏光纖2；
通過調(diào)整標準鏡和待測鏡的傾斜，使保偏光纖2出射的激光依次通過分光鏡1、準直鏡與標準鏡后射入待測鏡，經(jīng)待測鏡反射后原路返回，并被分光鏡1反射至濾波孔；使保偏光纖1出射的激光依次通過分光鏡1與準直鏡后射入標準鏡，經(jīng)標準鏡反射后原路返回，并被分光鏡1反射至濾波孔；
射入濾波孔的兩束激光經(jīng)過分光鏡2后被分為兩路；其中一路作為調(diào)整監(jiān)視光路，經(jīng)過成像鏡1射入探測器1中；另一路作為采集干涉圖光路經(jīng)過成像鏡2射入探測器2中。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于聲光低頻差移相的雙孔外差干涉儀，其特征在于，所述偏振分光鏡按照任意功率比將入射激光分為兩束激光。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于聲光低頻差移相的雙孔外差干涉儀，其特征在于，所述半波片2用于改變激光的偏振方向，使得兩束經(jīng)過聲光移頻器后的激光偏振方向一致。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于聲光低頻差移相的雙孔外差干涉儀，其特征在于，兩個聲光移頻器的移頻量不同，差頻后為幾赫茲或幾十赫茲量級的低差頻。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于聲光低頻差移相的雙孔外差干涉儀，其特征在于，所述保偏光纖1與保偏光纖2的末端通過固定模塊固定，確保兩束激光的出射方向一致，并且橫向空間有一定錯位。
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