[發(fā)明專利]一種用于電子背散射衍射儀的樣品臺有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201610235494.0 | 申請日： | 2016-04-15 |
| 公開（公告）號： | CN105699408B | 公開（公告）日： | 2019-03-29 |
| 發(fā)明（設計）人： | 李娟;王勤;陸現(xiàn)彩;陸建軍 | 申請（專利權(quán)）人： | 南京大學 |
| 主分類號： | G01N23/203 | 分類號： | G01N23/203;G01N23/205;H01J37/28 |
| 代理公司： | 江蘇圣典律師事務所 32237 | 代理人： | 賀翔 |
| 地址： | 210023 江蘇省南*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 用于 電子 散射 衍射 樣品 | ||
1.一種用于電子背散射衍射儀的樣品臺，其特征在于，包括：
所述樣品臺的固定面與底座呈70°夾角，所述固定面上開有凹槽，所述凹槽用于安裝并固定薄片樣品，所述凹槽與所述薄片樣品的尺寸吻合；
所述凹槽的深度與所述薄片樣品的厚度一致，當所述薄片樣品安裝在所述凹槽中時，所述薄片樣品的待測表面與所述固定面的表面處于同一平面；
所述固定面上開有用于安裝單晶硅標樣的標樣凹槽，所述標樣凹槽的深度與所述單晶硅標樣的厚度一致，當所述單晶硅標樣安裝在所述標樣凹槽中時，所述單晶硅標樣的待測表面與所述固定面的表面處于同一平面；
所述樣品臺的中部，開有一立方體孔洞，所述立方體孔洞用于安裝塊狀樣品；
所述立方體孔洞的內(nèi)表面填充固體導電膠，當所述塊狀樣品接觸所述固體導電膠并安裝在所述立方體孔洞中時，所述塊狀樣品的待測表面與所述單晶硅標樣的表面處于同一平面；
其中，標樣凹槽接近凹槽的邊緣，使得單晶硅標樣與薄片樣品處于在同一平面，以便于在實驗過程中樣品能夠在同一個工作距離下通過單晶硅標樣進行校準。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的樣品臺，其特征在于，所述樣品臺由純銅材料制成，或者由導電性大于純銅的材料制成。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的樣品臺，其特征在于，所述樣品臺的底座由純銅材料制成，或者由導電性大于純銅的材料制成；
所述樣品臺中除了底座以外的部分由導電材料制成。
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