[發(fā)明專利]一種鉭酸鋰單晶生長設(shè)備在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 201610223524.6 | 申請日: | 2016-04-12 |
| 公開(公告)號: | CN105696068A | 公開(公告)日: | 2016-06-22 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 徐國忠;王斌;仇如成 | 申請(專利權(quán))人: | 鹽城市振弘電子材料廠 |
| 主分類號: | C30B15/30 | 分類號: | C30B15/30;C30B29/30;C30B15/00 |
| 代理公司: | 暫無信息 | 代理人: | 暫無信息 |
| 地址: | 224021 江蘇*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
| 權(quán)利要求書: | 查看更多 | 說明書: | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 一種 鉭酸鋰單晶 生長 設(shè)備 | ||
1.一種鉭酸鋰單晶生長設(shè)備,其特征在于,它包括:
生長爐(1),所述生長爐(1)包括爐體(11)、對應(yīng)安裝在所述爐體(11)上的爐門(12)、 設(shè)置在所述爐門(12)上的觀察窗(13)、安裝在所述爐門(12)下部且與所述爐體(11)相 連通的進(jìn)水管(14)、安裝在所述爐門(12)上部且與所述爐體(11)相連通的出水管(15) 以及設(shè)置在所述爐體(11)上且與其相連通的進(jìn)氣口(16);
進(jìn)氣機(jī)構(gòu)(2),所述進(jìn)氣機(jī)構(gòu)(2)包括導(dǎo)氣至所述進(jìn)氣口(16)內(nèi)的進(jìn)氣管道(22)、與 所述進(jìn)氣管道(22)相連接的流量閥(21)以及安裝在所述進(jìn)氣管道(22)上的四通閥(23);
提拉組件(3),所述提拉組件(3)包括設(shè)置在所述爐體(11)頂部的支撐架(31)、可上 下升降地安裝在所述支撐架(31)上的固定座(33)、安裝在所述固定座(33)上且下端延伸 至所述爐體(11)內(nèi)的籽晶桿(34)以及安裝在所述固定座(33)上用于帶動(dòng)所述籽晶桿(34) 轉(zhuǎn)動(dòng)的第二電機(jī)(36)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的鉭酸鋰單晶生長設(shè)備,其特征在于:所述固定座(33)的上下 升降通過安裝在所述支撐架(31)頂部的第一電機(jī)(32)或者通過安裝在所述爐體(11)頂 部的調(diào)節(jié)螺桿(35)進(jìn)行調(diào)節(jié)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的鉭酸鋰單晶生長設(shè)備,其特征在于:所述提拉組件(3)還 包括與所述固定座(33)相連接且位于其上方的支撐座(37)、可調(diào)節(jié)地安裝在所述支撐座(37) 上的調(diào)節(jié)桿(38)、設(shè)置在所述調(diào)節(jié)桿(38)上的吊鉤(301)、對應(yīng)設(shè)置于所述吊鉤(301) 下方的浮力桶(39)以及可滑動(dòng)地安裝在所述調(diào)節(jié)桿(38)上的砝碼(30)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的鉭酸鋰單晶生長設(shè)備,其特征在于:它還包括與所述出水管(15) 相連接的導(dǎo)液管(5)。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的鉭酸鋰單晶生長設(shè)備,其特征在于:所述生長爐(1)底部還安 裝有支撐架(6)。
6.根據(jù)權(quán)利要求3所述的鉭酸鋰單晶生長設(shè)備,其特征在于:它還包括與所述浮力 桶(39)相配合的腳凳(4)。
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