[發明專利]一種具有照相功能的閃存存儲器及制備方法、電子裝置

在審

• 申請號: 201610208297.X
• 申請日: 2016-04-05
• 公開（公告）號: CN107302005A
• 公開（公告）日: 2017-10-27
• 發明（設計）人: 李玉科
• 申請（專利權）人: 中芯國際集成電路制造（上海）有限公司;中芯國際集成電路制造（北京）有限公司
• 主分類號: H01L27/1157
• 分類號: H01L27/1157;G11C16/02;H01L27/144
• 代理公司: 北京市磐華律師事務所11336
• 代理人: 高偉,馮永貞

1.一種具有照相功能的閃存存儲器，其特征在于，所述閃存存儲器包括若干存儲器單元，所述存儲器單元包括：

基底；

柵極疊層，位于所述基底上方，包括依次層疊的隧穿氧化物層、浮柵層、隔離層和控制柵層；

互連結構，位于所述柵極疊層的上方并與所述柵極疊層電連接；

濾光膜，位于互連結構的上方；

棱鏡，設置于所述濾光膜的表面上。

2.根據權利要求1所述的閃存存儲器，其特征在于，在所述互連結構上方、所述濾光膜的下方還形成有鈍化層，所述鈍化層具有平坦的表面。

3.根據權利要求1所述的閃存存儲器，其特征在于，所述濾光膜為紫外線濾光膜。

4.根據權利要求1所述的閃存存儲器，其特征在于，所述互連結構包括交替設置的若干通孔和若干金屬層，所述若干通孔的長和寬的關鍵尺寸小于所述棱鏡的長和寬的關鍵尺寸；所述金屬層的長和寬的關鍵尺寸小于所述棱鏡的長和寬的關鍵尺寸。

5.根據權利要求1所述的閃存存儲器，其特征在于，所述棱鏡呈正方形結構。

6.根據權利要求1所述的閃存存儲器，其特征在于，所述閃存存儲器包括彼此交叉設置的若干行字線和若干列位線，在所述字線和位線的交叉處設置有上述存儲器單元。

7.根據權利要求6所述的閃存存儲器，其特征在于，所述存儲器單元彼此之間的距離相等。

8.一種具有紫外照相功能的閃存存儲器的制備方法，其特征在于，所述方法包括：

提供基底，在所述基底上形成柵極疊層，其中所述柵極疊層包括依次層疊的隧穿氧化物層、浮柵層、隔離層和控制柵層；

在所述柵極疊層上形成互連結構與所述柵極疊層形成電連接；

在所述互連結構的上方依次形成濾光膜和棱鏡，以形成成像器 件。

9.根據權利要求8所述的制備方法，其特征在于，在形成所述棱鏡之前還進一步包括在所述互連結構上方形成鈍化層并且平坦化所述鈍化層的步驟。

10.根據權利要求8所述的制備方法，其特征在于，所述互連結構包括交替設置的若干通孔和若干金屬層，所述若干通孔的長和寬的關鍵尺寸小于所述棱鏡的長和寬的關鍵尺寸；所述金屬層的長和寬的關鍵尺寸小于所述棱鏡的長和寬的關鍵尺寸。

11.根據權利要求8所述的制備方法，其特征在于，所述濾光膜為紫外線濾光膜。

12.一種電子裝置，其特征在于，包括如權利要求1至7之一所述的閃存存儲器。