[發明專利]一種控制離子圓形注入的二維掃描裝置在審

申請號：	201610184948.6	申請日：	2016-03-29
公開（公告）號：	CN106816367A	公開（公告）日：	2017-06-09
發明（設計）人：	劉輝;童雪林;劉光燦;謝明華;熊躍軍	申請（專利權）人：	長沙學院
主分類號：	H01L21/265	分類號：	H01L21/265;H01J37/317
代理公司：	暫無信息	代理人：	暫無信息
地址：	410022***	國省代碼：	湖南;43
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摘要：
搜索關鍵詞：	一種控制離子圓形注入二維掃描裝置
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【權利要求書】：

1.一種控制離子圓形注入的二維掃描裝置，包括主控機、通信接口電路、DSP處理器、FPGA、鍵盤、兩路高速DAC轉換電路、兩路濾波電路、兩路緩沖放大電路和高壓放大電路；兩路高壓放大電路和兩路緩沖放大電路連接，兩路緩沖放大電路和兩路高速DAC連接，FPGA和兩路高速DAC連接，DSP處理器與FPGA連接，主控機通過通信接口電路連接DSP處理器。

2.根據權利要求1所述的一種控制離子圓形注入的二維掃描裝置，其特征在于：DSP處理器與FPGA相連，DSP處理器通過接收鍵盤接口傳來的控制命令，進行高速數據處理和掃描區域的計算，控制掃描速度，控制FPGA完成波形的產生。

3.根據權利要求1所述的一種控制離子圓形注入的二維掃描裝置，其特征在于：FPGA和兩路高速DAC連接，控制兩路高速DAC產生水平和垂直方向的掃描電壓，實現掃描區域的控制。

4.根據權利要求1所述的一種控制離子圓形注入的二維掃描裝置，其特征在于：主控機通過通信接口電路連接DSP處理器進行數據通信，啟停控制和工作狀態指示。

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