[發明專利]一種靜電噴霧熱解制備薄膜裝置在審
| 申請號： | 201610175908.5 | 申請日： | 2016-03-28 |
| 公開（公告）號： | CN107236939A | 公開（公告）日： | 2017-10-10 |
| 發明（設計）人： | 周檢 | 申請（專利權）人： | 周檢 |
| 主分類號： | C23C18/12 | 分類號： | C23C18/12 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 310018 浙江省杭州市江*** | 國省代碼： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 靜電 噴霧 制備 薄膜 裝置 | ||
【權利要求書】：
1.一種靜電噴霧熱解制備薄膜裝置，其特征在于，其包括高溫爐，靜電噴頭，傳送帶，儲液罐，儲氣罐和高壓電源。
2.如權利要求1所述的一種靜電噴霧熱解制備薄膜裝置，其特征在于所述的高溫爐的兩側開有相同幾何形狀的方孔。
3.如權利要求1所述的一種靜電噴霧熱解制備薄膜裝置，其特征在于所述的靜電噴頭安置在兩臺高溫爐的間隔內。
4.如權利要求1所述的一種靜電噴霧熱解制備薄膜裝置，其特征在于所述的傳送帶通過方孔從高溫爐中穿過，實現對工件傳送。
5.如權利要求1所述的一種靜電噴霧熱解制備薄膜裝置，其特征在于所述的高壓電源與靜電噴頭連接。
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- 專利分類
C23 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學處理；金屬材料的擴散處理；真空蒸發法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制
C23C 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面擴散法，化學轉化或置換法的金屬材料表面處理；真空蒸發法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆
C23C18-00 通過液態化合物分解抑或覆層形成化合物溶液分解、且覆層中不留存表面材料反應產物的化學鍍覆
C23C18-02 .熱分解法
C23C18-14 .輻射分解法，例如光分解、粒子輻射
C23C18-16 .還原法或置換法，例如無電流鍍
C23C18-54 .接觸鍍，即無電流化學鍍
C23C18-18 ..待鍍材料的預處理
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