[發(fā)明專利]電動(dòng)致動(dòng)器和電動(dòng)激振裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201610161778.X
• 申請(qǐng)日: 2012-04-19
• 公開（公告）號(hào): CN105728305B
• 公開（公告）日: 2019-08-16
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 松本繁
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 國(guó)際計(jì)測(cè)器株式會(huì)社
• 主分類號(hào): B06B1/04
• 分類號(hào): B06B1/04;G01M7/02;G01M7/06
• 代理公司: 北京尚誠(chéng)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11322
• 代理人: 龍淳

本發(fā)明提供一種電動(dòng)致動(dòng)器，包括：大致筒狀的固定部；可動(dòng)部，其至少一部分被收容于固定部的中空部?jī)?nèi)，在固定部的軸線方向上被往復(fù)驅(qū)動(dòng)；和以使可動(dòng)部能夠在固定部的軸線方向上能往復(fù)移動(dòng)的方式從側(cè)方對(duì)可動(dòng)部進(jìn)行支承的多個(gè)可動(dòng)部支承機(jī)構(gòu)，可動(dòng)部支承機(jī)構(gòu)包括：軌道，其被安裝于可動(dòng)部的側(cè)面，在固定部的軸線方向上延伸；和滑塊，其被安裝于固定部，與軌道卡合，并且可動(dòng)部支承機(jī)構(gòu)大致等間隔地配置于固定部的軸線的周圍。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種電動(dòng)致動(dòng)器和使用其的電動(dòng)激振裝置。

背景技術(shù)

已知有將所謂音圈馬達(dá)作為驅(qū)動(dòng)裝置使用的電動(dòng)激振裝置。在專利文獻(xiàn)1中公開了使驅(qū)動(dòng)軸朝向彼此正交的方向的三臺(tái)電動(dòng)致動(dòng)器200、300、400與振動(dòng)臺(tái)100連結(jié)而成的三軸激振裝置1。在專利文獻(xiàn)1的激振裝置1中，各電動(dòng)致動(dòng)器的驅(qū)動(dòng)軸經(jīng)由在與驅(qū)動(dòng)軸正交的兩個(gè)軸方向上能夠平穩(wěn)地滑動(dòng)的雙軸滑件(連接部240、340、440)與振動(dòng)臺(tái)100連接。該雙軸滑件240(340、440)是將以可動(dòng)軸彼此正交的方式配置的一對(duì)直線引導(dǎo)件經(jīng)由中間臺(tái)245(345、445)連結(jié)而成的。利用該結(jié)構(gòu)，各電動(dòng)致動(dòng)器能夠不被其它電動(dòng)致動(dòng)器的振動(dòng)臺(tái)100的驅(qū)動(dòng)所強(qiáng)烈影響(即，以比較少的互相干擾(cross talk))地驅(qū)動(dòng)振動(dòng)臺(tái)100。

現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)1：國(guó)際公開WO2009/130953號(hào)公報(bào)

發(fā)明內(nèi)容

發(fā)明想要解決的技術(shù)問題

但是，在專利文獻(xiàn)1的激振裝置1所使用的電動(dòng)致動(dòng)器200中，可動(dòng)部230僅在從其胴體部232的一端向驅(qū)動(dòng)方向突出的細(xì)長(zhǎng)桿234的前端附近被支承于固定部222，所以可動(dòng)部230的胴體部232，在與驅(qū)動(dòng)軸正交的方向(不驅(qū)動(dòng)方向)上不以高剛性被支承，在不驅(qū)動(dòng)方向上容易發(fā)生振動(dòng)。因此，由于向可動(dòng)部230的不驅(qū)動(dòng)方向的振動(dòng)，產(chǎn)生驅(qū)動(dòng)軸間的互相干擾，會(huì)有激振精度降低的情況。

本發(fā)明的目的在于提供可動(dòng)部在不驅(qū)動(dòng)方向上不易振動(dòng)的電動(dòng)致動(dòng)器和通過使用該電動(dòng)致動(dòng)器而使激振精確度優(yōu)良的電動(dòng)激振裝置。

本發(fā)明的實(shí)施方式的電動(dòng)致動(dòng)器，包括：大致筒狀的固定部；可動(dòng)部，其至少一部分被收容于固定部的中空部?jī)?nèi)，在固定部的軸線方向上被往復(fù)驅(qū)動(dòng)；和以使可動(dòng)部能夠在固定部的軸線方向上能往復(fù)移動(dòng)的方式從側(cè)方對(duì)可動(dòng)部進(jìn)行支承的多個(gè)可動(dòng)部支承機(jī)構(gòu)?？蓜?dòng)部支承機(jī)構(gòu)包括：軌道，其被安裝于可動(dòng)部的側(cè)面，在固定部的軸線方向上延伸；和滑塊，其被安裝于固定部，與軌道卡合，并且，可動(dòng)部支承機(jī)構(gòu)大致等間隔地配置于以固定部的軸線為中心的周方向上。

利用該結(jié)構(gòu)，可動(dòng)部被多個(gè)可動(dòng)部支承機(jī)構(gòu)限制向不驅(qū)動(dòng)方向的移動(dòng)，所以在不驅(qū)動(dòng)方向上不易振動(dòng)。

可動(dòng)部也可以構(gòu)成為由兩對(duì)可動(dòng)部支承機(jī)構(gòu)在正交的兩個(gè)方向上從兩側(cè)夾持。

利用這些結(jié)構(gòu)，可動(dòng)部在正交的兩個(gè)不驅(qū)動(dòng)方向上分別被從兩側(cè)限制移動(dòng)，所以在不驅(qū)動(dòng)方向上不易振動(dòng)。

電動(dòng)致動(dòng)器也可以以固定部的軸線朝向水平方向的方式被橫置，可動(dòng)部支承機(jī)構(gòu)中的一個(gè)被配置于固定部的軸線之下。

利用該結(jié)構(gòu)，可動(dòng)部被可動(dòng)部支承機(jī)構(gòu)中的一個(gè)從下方支承，所以即使可動(dòng)部的重量大，也能夠有效防止可動(dòng)部的上下方向上的振動(dòng)。

也可以構(gòu)成為可動(dòng)部包括：桿，其從可動(dòng)部的一端突出，在固定部的軸線上延伸，固定部包括：軸承，其以使桿在固定部的軸線方向上能自由移動(dòng)的方式對(duì)桿進(jìn)行支承。

利用該結(jié)構(gòu)，可動(dòng)部由可動(dòng)部支承機(jī)構(gòu)和軸承在驅(qū)動(dòng)方向上的兩點(diǎn)限制不驅(qū)動(dòng)方向上的移動(dòng)，所以在不驅(qū)動(dòng)方向上更不易振動(dòng)。