[發(fā)明專利]一種利用微波近場技術(shù)表征鈮酸鋰波導(dǎo)的方法

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201610160881.2
• 申請日: 2016-03-21
• 公開（公告）號: CN105572425A
• 公開（公告）日: 2016-05-11
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 盧明輝;韓旭;余思遠(yuǎn);陳延峰
• 申請（專利權(quán)）人: 南京大學(xué)
• 主分類號: G01Q60/24
• 分類號: G01Q60/24
• 代理公司: 南京知識律師事務(wù)所 32207
• 代理人: 李媛媛

1.一種利用微波近場技術(shù)表征鈮酸鋰波導(dǎo)的方法，使用原子力顯微鏡微波近場探針的尖 端在鈮酸鋰波導(dǎo)的表面掃描，其特征在于，將微波信號通過定向耦合器和傳輸線傳導(dǎo)進(jìn)入探針 的尖端，微波信號在鈮酸鋰波導(dǎo)的表面反射后進(jìn)入所述定向耦合器，反射的微波信號和一路消 除信號同時(shí)經(jīng)過放大器的放大進(jìn)入混頻器解調(diào)，得到兩組直流信號，這兩組直流信號分別對應(yīng) 于探針的尖端與鈮酸鋰波導(dǎo)之間的阻抗實(shí)部和虛部，即電阻R和電容C。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種利用微波近場技術(shù)表征鈮酸鋰波導(dǎo)的方法，其特征在于， 所述微波信號的頻率為3GHz，微波信號的功率為0.1～10μW。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種利用微波近場技術(shù)表征鈮酸鋰波導(dǎo)的方法，其特征在于， 所述傳輸線的電阻為50Ω。

4.根據(jù)權(quán)利要求1至3之一所述的一種利用微波近場技術(shù)表征鈮酸鋰波導(dǎo)的方法，其特 征在于，所述原子力顯微鏡的掃描頻率為1Hz。

5.根據(jù)權(quán)利要求1至3之一所述的一種利用微波近場技術(shù)表征鈮酸鋰波導(dǎo)的方法，其特 征在于，所述阻抗實(shí)部的信號輸入到原子力顯微鏡主控制器的附加通道2，虛部的信號輸入到 原子力顯微鏡主控制器的附加通道1。