[發明專利]產生掩膜圖案的系統和方法以及曝光系統

有效

• 申請號: 201610158206.6
• 申請日: 2016-03-18
• 公開（公告）號: CN105607413B
• 公開（公告）日: 2019-11-01
• 發明（設計）人: 李太亮;孫俊民;丁洪利;關紅濤
• 申請（專利權）人: 京東方科技集團股份有限公司
• 主分類號: G03F1/76
• 分類號: G03F1/76;G03F7/20
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司 11021
• 代理人: 范心田

本發明實施例公開了一種產生掩膜圖案的系統、一種產生掩膜圖案方法以及一種曝光系統。根據本發明實施例，用于產生掩膜圖案的系統，包括：掩膜圖案提供設備，配置為通過有線或無線網絡提供掩膜圖案信號；掩膜圖案傳送設備，配置為對掩膜圖案提供設備提供的掩膜圖案信號進行處理，以產生掩膜圖案信息，并且通過射頻標識“RFID”信號傳送產生的掩膜圖案信息；以及掩膜圖案產生設備，配置為基于掩膜圖案信息，產生與掩膜圖案信息對應的掩膜圖案并顯示。在本申請實施例中，利用物聯網技術實現了掩膜圖案提供設備(本地PC或移動設備)與掩膜圖案產生設備之間的交互，使得掩膜圖案產生設備通過電子墨水屏顯示多種不同掩膜圖案，從而實現了快速方面、低成本的曝光方式。

技術領域

本申請涉及掩膜曝光領域，尤其涉及一種產生掩膜圖案的系統、一種產生掩膜圖案方法以及一種曝光系統。

背景技術

在當前玻璃基板生產線中，為了制造不同圖案的玻璃基板，主要通過調用不同的掩膜(Mask)來進行曝光，即當進行柵極層曝光時需要調用與柵極層對應的掩膜，當進行多層曝光時，需要調用與多層對應的掩膜，并且不同產品的同一層由于設計不同，掩膜也不同，因此就導致曝光系統本身需要存儲大量的掩膜，并且在每次進行生產時需要工程師耗費大量的時間進行掩膜確認。同時生產時曝光系統需要頻繁調用不同的掩膜，這就導致了大量的人力、物力以及機時浪費。

隨著通信技術的進步，物聯網(Internet of tings，IOT)成為新一代信息技術的重要組成部分，也是“信息化”時代的重要發展階段。物聯網是一種通過射頻識別(RFID)、紅外感應器、全球定位系統等信息傳感設備，按照約定的協議，將任何物品與互聯網連接起來，進行信息交換和通信，從而實現智能化識別、定位、跟蹤、監控和管理的一種網絡。

因此，如何通過網絡或云端(即，物聯網技術)實現本地PC或移動設備與現場設備(即曝光系統)中掩膜圖案產生設備之間的交互，從而實現對現場設備中掩膜信息的讀取和寫入成為本領域亟待解決的技術問題。

發明內容

有鑒于此，本發明提供了一種產生掩膜圖案的系統、一種產生掩膜圖案方法，用以解決現有技術中曝光系統內的掩膜圖案產生設備需要存儲大量的掩膜圖案，每次進行生產時需要工程師耗費大量的時間進行掩膜確認，同時生產時設備需要頻繁調用不同的掩膜，從而產生大量的人力、物力以及機時浪費的問題。

根據本發明實施例的一個方面，提供了一種用于產生掩膜圖案的系統，包括：

掩膜圖案提供設備，配置為通過有線或無線網絡提供掩膜圖案信號；

掩膜圖案傳送設備，配置為對掩膜圖案提供設備提供的掩膜圖案信號進行處理，以產生掩膜圖案信息，并且通過射頻標識“RFID”信號傳送產生的掩膜圖案信息；以及

掩膜圖案產生設備，配置為基于掩膜圖案信息，產生與所述掩膜圖案信息對應的掩膜圖案并顯示。

優選地，所述掩膜圖案提供設備是本地PC或移動設備。

優選地，所述有線網絡是互聯網、局域網、廣域網、電信網絡中的至少一個。

優選地，所述無線網絡是3G網絡、4G網絡、LTE網絡、WiFi網絡、藍牙網絡和NFC網絡中的至少一個。

優選地，所述掩膜圖案傳送設備包括：

云端和/或網關，配置為對掩膜圖案提供設備提供的掩膜圖案信號進行處理；以及

RFID控制器，配置為向所述掩膜圖案產生設備發送所述RFID信號，以向所述掩膜圖案產生設備供電并傳送掩膜圖案信息。

優選地，所述RFID信號包括掩膜圖案信息和用于對所述掩膜圖案產生設備供電的電能信號。

優選地，所述掩膜圖案產生設備包括：