[發明專利]玻璃晶圓鍍膜的方法有效
| 申請號： | 201610153175.5 | 申請日： | 2016-03-17 |
| 公開（公告）號： | CN105772364B | 公開（公告）日： | 2019-04-26 |
| 發明（設計）人： | 郭昭龍;趙海新 | 申請（專利權）人： | 西安鈞盛新材料科技有限公司 |
| 主分類號： | B05D1/40 | 分類號： | B05D1/40;B05D3/02;B05D3/00;B05D1/18 |
| 代理公司： | 西安智邦專利商標代理有限公司 61211 | 代理人： | 楊引雪 |
| 地址： | 710016 陜西省西安市經*** | 國省代碼： | 陜西;61 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 玻璃 鍍膜 方法 | ||
1.一種玻璃晶圓鍍膜的方法，其特征在于：主要包括以下幾個步驟：
1]玻璃晶圓清洗
2]玻璃晶圓干燥
3]玻璃晶圓鍍膜
將干燥后的玻璃晶圓送入鍍膜室，固定在旋涂機的鍍膜盤上，鍍膜室中通入揮發蒸汽，當整個鍍膜室中揮發蒸汽達到飽和時，將旋涂機轉速調至500rpm，向鍍膜盤中央滴入鍍膜液，然后逐漸將旋涂機轉速提高至2000-5000rpm，鍍膜液在玻璃晶圓上均勻鋪展開后完成初步鍍膜；其中，鍍膜液的溶劑與揮發蒸汽相同；
步驟3]中的揮發蒸汽是異丙醇蒸汽、乙醇蒸汽或丙酮蒸汽；
步驟3]中的鍍膜液是納米二氧化硅懸浮液；
所述步驟3]中鍍膜室中揮發蒸汽的壓強是0.1-0.5MPa；
4]低溫固化
將完成初步鍍膜的玻璃晶圓送入恒溫箱進行固化，固化溫度在200-300℃，固化時間為5-8分鐘；
5]高溫固化
將完成步驟4]處理的玻璃晶圓冷卻至室溫后進行高溫固化，使得玻璃表面形成一層減反射增透薄膜；
步驟5]中高溫固化時，溫度控制在650℃，固化時間為2-3分鐘。
2.根據權利要求1所述的玻璃晶圓鍍膜的方法，其特征在于：
所述步驟3]中鍍膜室中揮發蒸汽的壓強是0.1MPa、0.2MPa或0.5MPa。
3.根據權利要求2所述的玻璃晶圓鍍膜的方法，其特征在于：
所述步驟1]采用清洗液對玻璃晶圓進行清洗；所述清洗液是18MΩ超純水。
4.根據權利要求3所述的玻璃晶圓鍍膜的方法，其特征在于：
所述步驟2]玻璃晶圓干燥的具體方式是：將完成清洗的玻璃晶圓放入干燥箱中，通過氮氣吹掃的方式將玻璃晶圓表面殘留的清洗液吹干。
5.一種玻璃晶圓鍍膜的方法，其特征在于，包括以下步驟：
1]玻璃晶圓清洗；
2]玻璃晶圓干燥；
3]玻璃晶圓鍍膜；
將干燥后的玻璃晶圓送入鍍膜室，鍍膜室中通入揮發蒸汽，當整個鍍膜室中揮發蒸汽達到0.1-0.5MPa時，采用浸涂法對干燥后的玻璃晶圓進行鍍膜，得到雙面鍍膜的玻璃晶圓，完成初步鍍膜；
步驟3]中的揮發蒸汽是異丙醇蒸汽、乙醇蒸汽或丙酮蒸汽；
步驟3]中的鍍膜液是納米二氧化硅懸浮液；
所述步驟3]中鍍膜室中揮發蒸汽的壓強是0.1-0.5MPa；
4]低溫固化；
將完成初步鍍膜的玻璃晶圓送入恒溫箱進行固化，固化溫度在200-300℃，固化時間為5-8分鐘；
5]高溫固化；
將完成步驟4]處理的玻璃晶圓冷卻至室溫后進行高溫固化，使得玻璃表面形成一層減反射增透薄膜；
步驟5]中高溫固化時，溫度控制在650℃，固化時間為2-3分鐘。
6.根據權利要求5所述的玻璃晶圓鍍膜的方法，其特征在于：
所述步驟3]中鍍膜室中揮發蒸汽的壓強是0.1MPa、0.2MPa或0.5MPa。
7.根據權利要求6所述的玻璃晶圓鍍膜的方法，其特征在于：
所述步驟1]采用清洗液對玻璃晶圓進行清洗；所述清洗液是18MΩ超純水。
8.根據權利要求7所述的玻璃晶圓鍍膜的方法，其特征在于：
所述步驟2]玻璃晶圓干燥的具體方式是：將完成清洗的玻璃晶圓放入干燥箱中，通過氮氣吹掃的方式將玻璃晶圓表面殘留的清洗液吹干。
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