[發(fā)明專利]一種單晶爐加壓裝置

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201610151566.3
• 申請(qǐng)日: 2016-03-16
• 公開（公告）號(hào): CN105734663A
• 公開（公告）日: 2016-07-06
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 潘清躍;王平
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 江蘇華盛天龍光電設(shè)備股份有限公司
• 主分類號(hào): C30B15/00
• 分類號(hào): C30B15/00
• 代理公司: 暫無(wú)信息
• 代理人: 暫無(wú)信息

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明專利涉及單晶爐技術(shù)領(lǐng)域，特別是一種單晶爐加壓裝置。

背景技術(shù)

單晶爐是多晶硅轉(zhuǎn)化為單晶硅工藝過(guò)程中的必備設(shè)備，而單晶硅又是光伏發(fā)電和半導(dǎo)體行業(yè)中的基礎(chǔ)原料。單晶硅作為現(xiàn)代信息社會(huì)的關(guān)鍵支撐材料，是目前世界上最重要的單晶材料之一，它不僅是發(fā)展計(jì)算機(jī)與集成電路的主要功能材料，也是光伏發(fā)電利用太陽(yáng)能的主要功能材料。

在硅單晶拉制過(guò)程中需要在高壓的環(huán)境下進(jìn)行，但是隨著壓力的不斷增大單晶爐也會(huì)產(chǎn)生安全隱患，所以設(shè)計(jì)一種單晶爐加壓裝置就顯得尤為重要，防止其受到過(guò)大的壓力而造成自身結(jié)構(gòu)的損壞。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的是通過(guò)設(shè)置溢流通道和壓力閥來(lái)起到自我保護(hù)的作用，防止其受到過(guò)大的壓力而造成自身結(jié)構(gòu)的損壞，減少了不必要的損失；而發(fā)明了一種單晶爐加壓裝置。

為解決上述的技術(shù)問(wèn)題，本發(fā)明提供了一種單晶爐加壓裝置，包括

加壓缸體，所述的加壓缸體為半封閉式的筒體，

活塞，所述的活塞活動(dòng)連接在加壓缸內(nèi)，所述的活塞的頂部與氣缸的出軸端相連，所述的氣缸安裝在上支架的底部，

充氣管，所述的充氣管連接在加壓缸體的底部，所述的充氣管與加壓缸體之間設(shè)置有單向閥，

出氣管，所述的出氣管連接在加壓缸體的底部，所述的出氣管與加壓缸體之間設(shè)置有電磁閥，

壓力閥，所述的活塞上開設(shè)有溢流通道，所述的壓力閥安裝在溢流通道內(nèi)。

進(jìn)一步：所述的充氣管上安裝有空氣過(guò)濾器。

又進(jìn)一步：所述的單向閥包括第一閥筒、第一閥芯、第一彈簧和第一閥蓋，所述的第一閥筒的一端開設(shè)有進(jìn)氣孔，所述的第一閥蓋安裝在第一閥筒的另一端內(nèi)，所述的第一閥芯活動(dòng)連接在第一閥筒內(nèi)，所述的第一閥芯通過(guò)第一彈簧與第一閥蓋相連，所述的第一閥芯在第一彈簧的作用下堵塞在進(jìn)氣孔處。

又進(jìn)一步：所述的第一閥蓋上開設(shè)有導(dǎo)向孔，所述的導(dǎo)向孔內(nèi)活動(dòng)連接有導(dǎo)向桿，所述的導(dǎo)向桿的一端連接在第一閥芯上。

又進(jìn)一步：所述的電磁閥包括第二閥筒、第二閥芯、第二彈簧、傳動(dòng)桿、上楔形塊、下楔形塊和電動(dòng)缸，所述的第二閥筒的頂部開設(shè)有出氣孔，所述的第二閥芯活動(dòng)連接在出氣孔的外側(cè)，所述的第二閥芯的底部連接有傳動(dòng)桿所述的傳動(dòng)桿穿過(guò)出氣孔與上楔形塊相連，所述的上楔形塊通過(guò)滑動(dòng)機(jī)構(gòu)連接在第二閥筒內(nèi)的一側(cè)壁上，所述的第二閥筒內(nèi)的另一側(cè)壁上安裝有電動(dòng)缸，所述的電動(dòng)缸與下楔形塊相連，所述的下楔形塊活動(dòng)連接在上楔形塊的楔形面上。

又進(jìn)一步：所述的滑動(dòng)機(jī)構(gòu)包括豎直設(shè)置在第二閥筒側(cè)壁上的導(dǎo)軌和滑塊，所述的上楔形塊通過(guò)滑塊活動(dòng)連接在軌道上。

又進(jìn)一步：所述的壓力閥包括第三閥筒、第三閥蓋、第三閥芯和第三彈簧，所述的第三閥筒安裝在溢流通道內(nèi)，所述的第三閥芯活動(dòng)連接在第三閥筒的一端內(nèi)，所述的第三閥蓋安裝在第三閥筒的另一端上，所述的第三閥芯通過(guò)第三彈簧與第三閥蓋相連，所述的第三彈簧與第三閥蓋之間還設(shè)置有擋板，所述的擋板與第三閥蓋活動(dòng)連接，所述的第三閥筒的側(cè)壁上開設(shè)有泄流孔，所述的泄流孔通過(guò)溢流通道與外界大氣相連通。

再進(jìn)一步：所述的第三閥蓋一端的外側(cè)設(shè)置有外接螺紋，所述的與第三閥蓋相連的第三閥筒的一端內(nèi)設(shè)置有內(nèi)接螺紋，所述的外接螺紋與內(nèi)接螺紋相匹配。

采用上述結(jié)構(gòu)后本發(fā)明通過(guò)設(shè)置溢流通道和壓力閥來(lái)起到自我保護(hù)的作用，防止其受到過(guò)大的壓力而造成自身結(jié)構(gòu)的損壞，減少了不必要的損失；并且本設(shè)計(jì)還具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、易于制造和實(shí)用高效的優(yōu)點(diǎn)。

附圖說(shuō)明

下面結(jié)合附圖和具體實(shí)施方式對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步詳細(xì)的說(shuō)明。

圖1為本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖2為壓力閥的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖3為單向閥的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖4為電磁閥的結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實(shí)施方式