[發明專利]機械地流體化的硅沉積系統和方法在審
| 申請號： | 201610149976.4 | 申請日： | 2013-05-09 |
| 公開（公告）號： | CN105797656A | 公開（公告）日： | 2016-07-27 |
| 發明（設計）人： | 馬克·W·達瑟爾;大衛·A·布雷斯勒 | 申請（專利權）人： | 羅克斯達技術有限責任公司 |
| 主分類號： | B01J8/40 | 分類號： | B01J8/40;B01J8/30;C01B33/029;C23C16/442;C23C16/24 |
| 代理公司： | 北京鴻德海業知識產權代理事務所(普通合伙) 11412 | 代理人： | 袁媛 |
| 地址： | 美國*** | 國省代碼： | 美國;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 機械 流體 沉積 系統 方法 | ||
【說明書】：
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