[發明專利]承載盤檢驗裝置

有效

• 申請號: 201610149802.8
• 申請日: 2016-03-16
• 公開（公告）號: CN107199182B
• 公開（公告）日: 2019-05-31
• 發明（設計）人: 詹勛亮;施松柏;鄭聿彣;李慶康;陳約翰
• 申請（專利權）人: 京元電子股份有限公司
• 主分類號: B07C5/10
• 分類號: B07C5/10;B08B5/02;G01B11/16
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司 11021
• 代理人: 任巖

本發明是有關于一種承載盤檢驗裝置，包括一滑軌單元、二高度計以及一控制單元。滑軌單元包括有一軌道及一經由一皮帶帶動的橫移推桿，該皮帶是連接一動力源，其中，多個承載盤是依序放置于軌道上，并受橫移推桿的線性推移。二高度計分別設置于一支撐架上，提供一單點式光束對應每一承載盤的兩側端緣的上表面，用以感測承載盤的高度變化量，并通過電連接該動力源及該二高度計的控制單元，控制每一承載盤的啟動時序，使得每一承載盤可被照射一特定數量的單點式光束的量測點。由此，可有效避免各機臺誤用過度變形的承載盤，造成半導體元件翻覆、彈出或破損的情況產生。

技術領域

本發明是關于一種承載盤檢驗裝置，尤指一種適用于裝載半導體元件的承載盤檢驗裝置。

背景技術

請參閱圖9及圖10，是已知厚薄規的檢驗方式的示意圖以及已知通道式檢測器的檢驗方式的示意圖。如圖9所示，圖中檢測者手中所握持的承載盤檢驗裝置是為一厚薄規91，其常用于量測二零件間的間隙，也可應用于檢測承載盤95的翹曲程度。使用時，若將厚薄規91插入承載盤95與桌面的間隙后，發現兩者間仍有空隙且無接觸到承載盤95表面，則判定為翹曲異常。再者，如圖10所示，圖中設置于一斜面920的承載盤檢驗裝置是為一通道式檢測器92，檢測者是將承載盤95置入通道式檢測器92的一具特定高度的通道921后，若承載盤95卡住無法順利滑入時，則判定為翹曲異常。然而，上述兩種承載盤檢驗裝置皆須以人力手動操作，檢驗過程制式化且耗費人力，缺乏自動化的檢驗效率。

因此，如圖11所示，是已知承載盤檢驗裝置的檢驗方式的示意圖。美國公告號第6453760號專利案已揭示一種承載盤檢驗裝置93，是將承載盤95置于一以輸送馬達932驅動的輸送帶930上，并以一夾具931將承載盤95固定于輸送帶930上，此外，位于輸送帶930的一側的一阻擋塊933是跟隨承載盤95同時移動，且依序對應位于同一側的三光耦934，用以反射每一光耦934所發射出的LED光束，當光耦934接收到反射光時，即可判定已到達承載盤95的檢測點。其中，已知技術是采用橫向式的光感測方式，利用一激光光發射源935對應一接收該光源的激光光感知器936，其原理是在判定未被承載盤95阻擋的激光光的最高位置與一門坎高度進行比較，若該最高位置小于該門坎高度，即通過檢測；若該最高位置大于該門坎高度，即未通過檢測。然而，已知技術無法準確地量測出承載盤95的翹曲量，缺乏使用上的精確性，且僅通過光遮蔽的方式易受到外在環境干擾，量測誤差及檢測質量仍有改進的空間。

發明人緣因于此，本于積極發明的精神，亟思一種可以解決上述問題的承載盤檢驗裝置，幾經研究實驗終至完成本發明。

發明內容

本發明的主要目的是在提供一種承載盤檢驗裝置，用以檢驗承載盤是否已產生翹曲或變形的情況，避免在各機臺中誤用過度變形的承載盤，造成半導體元件翻覆、彈出或破損，有效減少機臺出現問題的機率，保持原有產能。

本發明的另一目的是在提供一種具有氣簾清潔效果的承載盤檢驗裝置，除了可自動化檢測承載盤翹曲量之外，同時可通過一氣簾桿上的多個通氣孔噴出壓縮氣體，一并去除承載盤上的微塵，毋須再依靠人力用氣槍清潔承載盤表面。

為達成上述目的，本發明的承載盤檢驗裝置包括有一滑軌單元、二高度計以及一控制單元。滑軌單元包括有一軌道及一經由一皮帶帶動的橫移推桿，該皮帶是連接一動力源，其中，多個承載盤是依序放置于軌道上，并受橫移推桿的線性推移，用以建構出一可持續推送每一承載盤的輸送結構。此外，二高度計分別設置于一支撐架上，是提供一單點式光束對應每一承載盤的兩側端緣的上表面，用以感測承載盤的高度變化量，并通過電連接該動力源及該二高度計的控制單元，控制每一承載盤的啟動時序，使得每一承載盤可被照射一特定數量的單點式光束的量測點，以確保承載盤的每一部分皆符合在容許變形量的范圍內。

上述支撐架可還固設有一開設多個通氣孔的氣簾桿，該氣簾桿是連通一壓縮氣體供應裝置，用以自動化清潔承載盤，減少微塵污染承載盤及待測半導體元件。