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[發明專利]半導體裝置和形成該半導體裝置的方法有效

專利信息
申請號: 201610140176.6 申請日: 2016-03-11
公開(公告)號: CN105977291B 公開(公告)日: 2019-08-13
發明(設計)人: J.P.德蘇扎;K.E.福格爾;金志煥;D.K.薩達納;B.A.瓦卡瑟 申請(專利權)人: 國際商業機器公司
主分類號: H01L29/772 分類號: H01L29/772;H01L21/335;H01L29/78;H01L21/336;H01L29/06
代理公司: 北京市柳沈律師事務所 11105 代理人: 邱軍;趙國榮
地址: 美國紐*** 國省代碼: 美國;US
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摘要:
搜索關鍵詞: 半導體 裝置 形成 方法
【權利要求書】:
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1、專利原文基于中國國家知識產權局專利說明書;

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4、內容包括專利技術的結構示意圖流程工藝圖技術構造圖

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