[發(fā)明專(zhuān)利]多通道石英晶體微天平芯片的制作裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201610130772.6
• 申請(qǐng)日: 2016-03-08
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN105675096B
• 公開(kāi)（公告）日: 2018-02-23
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 永遠(yuǎn);謝小川;陳大志;黃小霞
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 成都柏森松傳感技術(shù)有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): G01G3/13
• 分類(lèi)號(hào): G01G3/13;G01G3/16;H01L41/29
• 代理公司: 暫無(wú)信息
• 代理人: 暫無(wú)信息

1.一種多通道石英晶體微天平芯片的制作裝置，包括電極加工部件和芯片固定部件，其特征在于：所述電極加工部件由位于下部的共用電極加工板(10)和通過(guò)可拆卸方式固定于共用電極加工板(10)上部的功能電極加工板(20)構(gòu)成，所述共用電極加工板(10)上有至少一個(gè)用于加工共用電極的共用電極孔(11)，功能電極加工板(20)上與所述每個(gè)共用電極孔(11)對(duì)應(yīng)的區(qū)域處開(kāi)有至少兩個(gè)用于加工功能電極的功能電極孔(21)；所述芯片固定部件可將芯片固定于共用電極加工板(10)和功能電極加工板(20)之間，并覆蓋每個(gè)共用電極孔(11)；所述功能電極加工板(20)的上部還設(shè)置有可遮擋部分功能電極孔(21)的遮擋部件。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種多通道石英晶體微天平芯片的制作裝置，其特征在于：所述芯片固定部件的具體結(jié)構(gòu)是：在所述共用電極加工板(10)上表面的共用電極孔(11)處設(shè)置有下芯片固定槽(12)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種多通道石英晶體微天平芯片的制作裝置，其特征在于：所述芯片固定部件的具體結(jié)構(gòu)是：在所述功能電極加工板(20)下表面的功能電極孔(21)處設(shè)置有上芯片固定槽(22)。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種多通道石英晶體微天平芯片的制作裝置，其特征在于：所述芯片固定部件的具體結(jié)構(gòu)是：在所述共用電極加工板(10)上表面的共用電極孔(11)處設(shè)置有下芯片固定槽(12)，在功能電極加工板(20)下表面的功能電極孔(21)處設(shè)置有上芯片固定槽(22)，所述共用電極加工板(10)上表面的下芯片固定槽(12)與功能電極加工板(20)下表面的上芯片固定槽(22)大小相同，位置對(duì)應(yīng)，共同將芯片固定于共用電極加工板(10)和功能電極加工板(20)之間。

5.根據(jù)權(quán)利要求1-4任一所述的一種多通道石英晶體微天平芯片的制作裝置，其特征在于：所述共用電極加工板(10)和功能電極加工板(20)之間通過(guò)可拆卸方式固定的具體方式是：共用電極加工板(10)和功能電極加工板(20)的邊緣對(duì)應(yīng)位置處設(shè)置有磁性材料(30)，共用電極加工板(10)和功能電極加工板(20)通過(guò)磁性吸引力結(jié)合固定。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種多通道石英晶體微天平芯片的制作裝置，其特征在于：所述共用電極加工板(10)和功能電極加工板(20)上設(shè)置有對(duì)準(zhǔn)裝置，用于共用電極加工板(10)和功能電極加工板(20)通過(guò)磁性吸引力結(jié)合時(shí)，共用電極孔(11)和功能電極孔(21)位置對(duì)準(zhǔn)。

7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種多通道石英晶體微天平芯片的制作裝置，其特征在于：所述共用電極加工板(10)和功能電極加工板(20)的邊緣對(duì)應(yīng)位置處設(shè)置的磁性材料(30)的布置方式是：共用電極加工板(10)邊緣的上表面設(shè)置有磁性凸起(31)，功能電極加工板(20)的下表面對(duì)應(yīng)位置處設(shè)置有與所述磁性凸起(31)配合的磁性凹槽(32)。

8.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種多通道石英晶體微天平芯片的制作裝置，其特征在于：所述共用電極加工板(10)和功能電極加工板(20)的邊緣對(duì)應(yīng)位置處設(shè)置的磁性材料(30)的布置方式是：功能電極加工板(20)邊緣的下表面設(shè)置有磁性凸起(31)，共用電極加工板(10)的上表面對(duì)應(yīng)位置處設(shè)置有與所述磁性凸起(31)配合的磁性凹槽(32)。

9.根據(jù)權(quán)利要求1-4任一所述的一種多通道石英晶體微天平芯片的制作裝置，其特征在于：所述共用電極加工板(10)和功能電極加工板(20)之間通過(guò)可拆卸方式固定的具體方式是：共用電極加工板(10)和功能電極加工板(20)的邊緣對(duì)應(yīng)位置處均開(kāi)有螺栓通孔，螺栓依次通過(guò)功能電極加工板(20)上的螺栓通孔和共用電極加工板(10)上的螺栓通孔，與螺母配合固定。