[發(fā)明專利]基板處理裝置及基板處理方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201610122229.1
• 申請日: 2011-04-11
• 公開（公告）號(hào): CN105632978B
• 公開（公告）日: 2018-10-30
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 浜田智秀;奈良圭;增川孝志;木內(nèi)徹
• 申請（專利權(quán)）人: 株式會(huì)社尼康
• 主分類號(hào): H01L21/67
• 分類號(hào): H01L21/67;H01L21/677;G02F1/13;G02F1/1333;H01L51/56
• 代理公司: 中國國際貿(mào)易促進(jìn)委員會(huì)專利商標(biāo)事務(wù)所 11038
• 代理人: 嚴(yán)鵬

1.一種基板處理裝置，其對(duì)具有可撓性的長帶狀的片狀基板進(jìn)行處理，其特征在于，具備：

第一處理裝置，對(duì)被搬送于長邊方向的所述片狀基板實(shí)施第一處理；

第二處理裝置，在與該第一處理裝置中的所述片狀基板的搬送方向交叉的方向錯(cuò)開配置，對(duì)所述片狀基板實(shí)施第二處理；

第三處理裝置，具備設(shè)置成使所述片狀基板的二行分別通過的插入部與排出部，且對(duì)所述第一處理后的片狀基板、或者對(duì)所述第二處理后的片狀基板實(shí)施第三處理；以及

搬送裝置，具備以所述片狀基板通過所述第一處理裝置朝向所述第三處理裝置的方式將所述片狀基板搬送于所述長邊方向的第一搬送部、以所述片狀基板通過所述第三處理裝置后朝向所述第二處理裝置的方式將所述片狀基板搬送于所述長邊方向的第二搬送部、及以所述片狀基板通過所述第二處理裝置后朝向所述第三處理裝置的方式將所述片狀基板搬送于所述長邊方向的第三搬送部。

2.如權(quán)利要求1所述的基板處理裝置，其中，所述第一處理裝置與所述第二處理裝置，在與所述片狀基板的搬送方向交叉的上下方向錯(cuò)開配置。

3.如權(quán)利要求2所述的基板處理裝置，其中，所述第三處理裝置的插入部與排出部，具有用于搬入所述第一處理后的片狀基板的第一插入口與用于排出所述片狀基板的第一排出口、以及用于搬入所述第二處理后的片狀基板的第二插入口與用于排出所述片狀基板的第二排出口；

所述第一插入口與所述第二插入口于上下方向配置，所述第一排出口與所述第二排出口于上下方向配置。

4.如權(quán)利要求1至3任一項(xiàng)所述的基板處理裝置，其中，所述第一處理裝置具備能使所述片狀基板的被處理面呈圓筒面狀地支承并且同時(shí)移動(dòng)于所述長邊方向的第一圓筒構(gòu)件、及配置于該第一圓筒構(gòu)件的周圍且進(jìn)行所述第一處理的第一處理部；

所述第二處理裝置具備能使所述片狀基板的被處理面呈圓筒面狀地支承并且同時(shí)移動(dòng)于所述長邊方向的第二圓筒構(gòu)件、及配置于該第二圓筒構(gòu)件的周圍且進(jìn)行所述第二處理的第二處理部。

5.如權(quán)利要求4所述的基板處理裝置，其中，所述第一圓筒構(gòu)件與所述第二圓筒構(gòu)件于上下方向排列配置，并且以可繞中心軸旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)桶構(gòu)成。

6.如權(quán)利要求2所述的基板處理裝置，其中，在通過所述第一搬送部、所述第二搬送部、所述第三搬送部的各個(gè)形成的所述片狀基板的長邊方向的搬送路徑，設(shè)置用于變換所述片狀基板的搬送方向的多個(gè)導(dǎo)引滾筒；

該多個(gè)導(dǎo)引滾筒中的至少二個(gè)導(dǎo)引滾筒，根據(jù)所述第一處理裝置與所述第二處理裝置的上下方向的配置的錯(cuò)開，以所述片狀基板的搬送路徑于上下方向偏移的方式配置。

7.如權(quán)利要求1至3、6任一項(xiàng)所述的基板處理裝置，其中，所述第三處理裝置所進(jìn)行的所述第三處理，是使所述片狀基板干燥的處理、或?qū)⑵浼訜嶂良榷囟鹊奶幚怼?/p>

8.一種基板處理方法，其一邊使具有可撓性的長帶狀的片狀基板搬送于長邊方向，一邊對(duì)所述片狀基板實(shí)施多個(gè)處理，其特征在于，包含：

第一步驟，將所述片狀基板送往第一處理裝置，對(duì)所述片狀基板的被處理面實(shí)施第一處理；

第二步驟，將所述片狀基板送往第二處理裝置，對(duì)經(jīng)所述第一處理后的所述片狀基板的被處理面實(shí)施第二處理；

第三步驟，將經(jīng)所述第一處理后的所述片狀基板、及經(jīng)所述第二處理后的所述片狀基板送往具備設(shè)置成使所述片狀基板的二行分別通過的插入部與排出部的第三處理裝置，對(duì)所述片狀基板的被處理面實(shí)施第三處理；以及

搬送步驟，通過以所述第一處理裝置、所述第三處理裝置、所述第二處理裝置、及所述第三處理裝置的順序?qū)⑺銎瑺罨灏崴陀谒鲩L邊方向的搬送裝置，搬送所述片狀基板。

9.如權(quán)利要求8所述的基板處理方法，其中，所述第三處理裝置所進(jìn)行的所述第三處理，是使所述片狀基板干燥的處理、或?qū)⑵浼訜嶂良榷囟鹊奶幚怼?/p>