[發明專利]用于在半導體制造中控制等離子體的系統和方法有效
| 申請號： | 201610107736.8 | 申請日： | 2016-02-26 |
| 公開（公告）號： | CN106169407B | 公開（公告）日： | 2019-04-12 |
| 發明（設計）人： | 吳成宗;呂伯雄;劉定一;廖錫文;孔祥昇 | 申請（專利權）人： | 臺灣積體電路制造股份有限公司 |
| 主分類號： | H01J37/32 | 分類號： | H01J37/32;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京德恒律治知識產權代理有限公司 11409 | 代理人： | 章社杲;李偉 |
| 地址： | 中國臺*** | 國省代碼： | 中國臺灣;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 用于 半導體 制造 控制 等離子體 系統 方法 | ||
【說明書】：
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