[發(fā)明專利]一種陣列基板及其制備方法、顯示面板、顯示裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201610101972.9
• 申請日: 2016-02-24
• 公開（公告）號: CN105762154B
• 公開（公告）日: 2018-12-18
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 王瑞瑞;陳華斌;王琳琳;崔曉鵬
• 申請（專利權(quán)）人: 京東方科技集團(tuán)股份有限公司;北京京東方顯示技術(shù)有限公司
• 主分類號: H01L27/12
• 分類號: H01L27/12;H01L21/77;G02F1/1362
• 代理公司: 北京中博世達(dá)專利商標(biāo)代理有限公司 11274
• 代理人: 申健

1.一種陣列基板的制備方法，所述制備方法包括：

在襯底基板上方形成第一金屬走線；

形成覆蓋所述第一金屬走線的層間絕緣層；

在所述層間絕緣層上形成第二金屬走線；所述第二金屬走線平行于所述第一金屬走線，且與所述第一金屬走線有重疊；所述第一金屬走線與所述第二金屬走線相重疊的區(qū)域?yàn)榈谝粎^(qū)域，所述第一金屬走線除所述第一區(qū)域之外的區(qū)域?yàn)榈诙^(qū)域，所述第二金屬走線除所述第一區(qū)域之外的區(qū)域?yàn)榈谌齾^(qū)域；

形成覆蓋所述第二金屬走線的保護(hù)層；

其特征在于，所述第一金屬走線與所述第二金屬走線互為公共電極線與數(shù)據(jù)線；所述制備方法還包括：

對所述層間絕緣層至少對應(yīng)于所述第一區(qū)域的部分進(jìn)行減薄處理，且對除所述第二區(qū)域和所述第三區(qū)域之外的部分不進(jìn)行減薄處理；

和/或，

對所述保護(hù)層至少對應(yīng)于所述第一區(qū)域的部分進(jìn)行減薄處理，且對除所述第二區(qū)域和所述第三區(qū)域之外的部分不進(jìn)行減薄處理；

其中，對所述層間絕緣層對應(yīng)于所述第一區(qū)域、所述第二區(qū)域以及所述第三區(qū)域的部分進(jìn)行減薄處理。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制備方法，其特征在于，

對所述層間絕緣層至少對應(yīng)于所述第一區(qū)域的部分進(jìn)行減薄處理，以使所述層間絕緣層至少對應(yīng)于所述第一區(qū)域的部分厚度減薄至所述層間絕緣層原本厚度的45％～65％；

和/或，

對所述保護(hù)層至少對應(yīng)于所述第一區(qū)域的部分進(jìn)行減薄處理，以使所述保護(hù)層至少對應(yīng)于所述第一區(qū)域的部分厚度減薄至所述保護(hù)層原本厚度的45％～65％。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制備方法，其特征在于，所述對所述保護(hù)層至少對應(yīng)于所述第一區(qū)域的部分進(jìn)行減薄處理，且對除所述第二區(qū)域和所述第三區(qū)域之外的部分不進(jìn)行減薄處理，包括：

對所述保護(hù)層對應(yīng)于所述第一區(qū)域、所述第二區(qū)域以及所述第三區(qū)域的部分進(jìn)行減薄處理。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制備方法，其特征在于，所述公共電極線的線寬大于所述數(shù)據(jù)線的線寬，且沿線寬方向，所述公共電極線在所述襯底基板上的投影完全覆蓋所述數(shù)據(jù)線在所述襯底基板上的投影。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的制備方法，其特征在于，所述公共電極線未與所述數(shù)據(jù)線相重疊的區(qū)域位于所述數(shù)據(jù)線的兩側(cè)。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的制備方法，其特征在于，所述公共電極線位于所述數(shù)據(jù)線兩側(cè)的部分寬度相同。

7.一種陣列基板，所述陣列基板包括：位于襯底基板上方的第一金屬走線；覆蓋所述第一金屬走線的層間絕緣層；位于所述層間絕緣層上的第二金屬走線；所述第二金屬走線平行于所述第一金屬走線，且與所述第一金屬走線有重疊；覆蓋所述第二金屬走線的保護(hù)層；其特征在于，所述第一金屬走線與所述第二金屬走線互為公共電極線與數(shù)據(jù)線；所述第一金屬走線與所述第二金屬走線相重疊的區(qū)域?yàn)榈谝粎^(qū)域，所述第一金屬走線除所述第一區(qū)域之外的區(qū)域?yàn)榈诙^(qū)域，所述第二金屬走線除所述第一區(qū)域之外的區(qū)域?yàn)榈谌齾^(qū)域；所述層間絕緣層至少對應(yīng)于所述第一區(qū)域的部分厚度小于所述層間絕緣層除所述第二區(qū)域和所述第三區(qū)域之外的部分厚度；和/或，所述保護(hù)層至少對應(yīng)于所述第一區(qū)域的部分厚度小于所述保護(hù)層除所述第二區(qū)域和所述第三區(qū)域之外的部分厚度；

其中，所述層間絕緣層對應(yīng)于所述第一區(qū)域、所述第二區(qū)域以及所述第三區(qū)域的部分厚度小于所述層間絕緣層除所述第一區(qū)域、所述第二區(qū)域和第三區(qū)域之外的部分厚度。

8.一種顯示面板，其特征在于，所述顯示面板包括如權(quán)利要求7所述的陣列基板。

9.一種顯示裝置，其特征在于，所述顯示裝置包括如權(quán)利要求8所述的顯示面板。