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[發明專利]制造半導體器件的方法在審

專利信息
申請號: 201610098764.8 申請日: 2016-02-23
公開(公告)號: CN105914211A 公開(公告)日: 2016-08-31
發明(設計)人: 滿生彰 申請(專利權)人: 瑞薩電子株式會社
主分類號: H01L27/115 分類號: H01L27/115;H01L21/28
代理公司: 中原信達知識產權代理有限責任公司 11219 代理人: 李蘭;孫志湧
地址: 日本*** 國省代碼: 日本;JP
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摘要:
搜索關鍵詞: 制造 半導體器件 方法
【權利要求書】:
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1、專利原文基于中國國家知識產權局專利說明書;

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