[發明專利]帶楔形波導層導模共振濾波片的微型光譜儀

有效

• 申請號: 201610088442.5
• 申請日: 2016-02-17
• 公開（公告）號: CN105606219B
• 公開（公告）日: 2017-11-28
• 發明（設計）人: 黃元申;周紅艷;盛斌;倪爭技;陳鵬;孫樂;董成成
• 申請（專利權）人: 上海理工大學
• 主分類號: G01J3/447
• 分類號: G01J3/447
• 代理公司: 上海申匯專利代理有限公司31001
• 代理人: 吳寶根

1.一種楔形波導層導模共振濾波片微型光譜儀，其特征在于，包括復色光源、準直擴束系統、偏振片、半透半反鏡、楔形波導層導模共振濾波片、面陣探測器，復色光源出射光經過準直擴束系統后輸出平行光，再經過偏振片輸出偏振光，偏振光投射到45度傾斜角的半透半反鏡上，反射光垂直打在楔形波導層導模共振濾波片上，經過楔形波導層導模共振濾波片反射回來的光再次經過半透半反鏡透射出去，由面陣探測器接收被楔形波導層導模共振濾波片反射的波段范圍內的連續光譜面信息，實現線偏振態下的光譜分析。

2.根據權利要求1所述楔形波導層導模共振濾波片微型光譜儀，其特征在于，所述楔形波導層導模共振濾波片選擇波導層厚度為180nm-300nm連續變化的Ta2O5波導層，光柵層選擇刻線密度為990line/mm的光柵。