[發明專利]一種用于槽型濕法設備的干燥裝置及干燥方法

有效

• 申請號: 201610088128.7
• 申請日: 2016-02-17
• 公開（公告）號: CN105665339B
• 公開（公告）日: 2018-04-06
• 發明（設計）人: 俞力洋;李陽柏;張傳民;陳建維
• 申請（專利權）人: 上海華力微電子有限公司
• 主分類號: B08B3/04
• 分類號: B08B3/04;F26B21/00;H01L21/02;H01L21/67
• 代理公司: 上海天辰知識產權代理事務所(特殊普通合伙)31275
• 代理人: 吳世華,陳慧弘

1.一種用于槽型濕法設備的干燥裝置，所述槽型濕法設備包括清洗槽、干燥槽以及裝載及卸載晶圓區域，并通過傳送手臂將晶圓在其之間傳送，其特征在于，所述干燥裝置包括至少兩組干燥氣體噴嘴，所述噴嘴設于裝載及卸載晶圓區域的相對兩側，所述干燥裝置通過所述噴嘴，向從干燥槽進入裝載及卸載晶圓區域的傳送手臂兩側噴射干燥氣體，對所述傳送手臂進行干燥；其中，每組所述噴嘴分別安裝在一個三軸向移動機構上，并且，所述噴嘴還安裝在一個轉動機構上，在進行干燥時，使每組所述噴嘴與傳送手臂之間的水平位置、垂直位置、相互距離及噴射角度處于可調節狀態，以便根據傳送手臂的外形結構輪廓特點，移動噴嘴使之位于恰當的位置，對傳送手臂的兩側進行全方位的干燥，避免產生工藝死角，并對從所述噴嘴噴射的干燥氣體流量及壓力進行調節，使其起到最佳的干燥效果。

2.根據權利要求1所述的用于槽型濕法設備的干燥裝置，其特征在于，所述噴嘴在裝載及卸載晶圓區域的四周分設四組。

3.根據權利要求1或2所述的用于槽型濕法設備的干燥裝置，其特征在于，在裝載及卸載晶圓區域的上方還設有一組所述噴嘴。

4.根據權利要求1或2所述的用于槽型濕法設備的干燥裝置，其特征在于，每組的所述噴嘴并列設置1-6個，并圍繞每組所述噴嘴設有廣角導向罩。

5.一種用于槽型濕法設備的干燥方法，使用權利要求1-4任意一項所述的用于槽型濕法設備的干燥裝置，其特征在于，包括：

使用傳送手臂，將進入裝載及卸載晶圓區域的晶圓依次傳送到清洗槽、干燥槽進行濕法清洗工藝并進行表面干燥，然后，再次將晶圓傳送至裝載及卸載晶圓區域；打開干燥裝置的各組噴嘴，至少從傳送手臂的兩側噴射干燥氣體，對進入裝載及卸載晶圓區域的所述傳送手臂進行干燥；

其中，對所述傳送手臂進行干燥時，通過變換所噴射的干燥氣體與傳送手臂之間的水平、垂直位置及相互距離，以及變換噴射角度，對所述傳送手臂進行移動式及多角度的干燥處理，并在噴射過程中，對干燥氣體的流量及壓力進行調節，使其起到最佳的干燥效果。

6.根據權利要求5所述的用于槽型濕法設備的干燥方法，其特征在于，對所述傳送手臂進行干燥時，從傳送手臂的四周及上方向傳送手臂噴射干燥氣體。

7.根據權利要求5所述的用于槽型濕法設備的干燥方法，其特征在于，所述干燥氣體為經加熱的高壓氮氣。