[發明專利]基于外置液囊和光譜谷點的超高分辨率溫度傳感器

有效

• 申請號: 201610085876.X
• 申請日: 2016-02-15
• 公開（公告）號: CN105628247B
• 公開（公告）日: 2021-03-16
• 發明（設計）人: 歐陽征標;陳治良
• 申請（專利權）人: 深圳市諾安環境安全股份有限公司
• 主分類號: G01K11/00
• 分類號: G01K11/00
• 代理公司: 深圳力拓知識產權代理有限公司 44313
• 代理人: 龔健

1.一種基于外置液囊和光譜谷點的超高分辨率溫度傳感器，其特征在于：由一個外置液囊、一個金屬塊、一個豎直波導、一個水平波導、兩個金屬膜和一個信號光組成；所述水平波導和所述豎直波導為金屬-絕緣體-金屬的波導結構；所述外置液囊和所述豎直波導連接；所述外置液囊的截面為球形或者正六邊形的錐體，其半徑為0.1mm；所述豎直波導內設置金屬塊；所述豎直波導和所述水平波導連接；所述信號光沿所述水平波導方向傳播，采用寬帶光或掃頻光；所述信號光的波長為700nm～1000nm的頻譜信號，通過溫度增加所述外置液囊內物質的體積，推動所述金屬塊向所述水平波導移動，以調整所述信號光的透射頻譜谷點的波長移動，獲得探測靈敏度為-2.3037×10⁹nm/℃的溫度傳感器。

2.按照權利要求1所述的基于外置液囊和光譜谷點的超高分辨率溫度傳感器，其特征在于：所述外置液囊內的物質為高熱膨脹系數的物質。

3.按照權利要求1所述的基于外置液囊和光譜谷點的超高分辨率溫度傳感器，其特征在于：所述外置液囊內的物質為酒精或水銀。

4.按照權利要求1所述的基于外置液囊和光譜谷點的超高分辨率溫度傳感器，其特征在于：所述金屬塊為金或銀。

5.按照權利要求1所述的基于外置液囊和光譜谷點的超高分辨率溫度傳感器，其特征在于：所述水平波導內的介質為空氣。