[發明專利]鎢化學機械拋光中的凹陷減少有效
| 申請號： | 201610084856.0 | 申請日： | 2016-02-14 |
| 公開（公告）號： | CN105885699B | 公開（公告）日： | 2019-02-19 |
| 發明（設計）人： | M·施滕德爾;B·J·盧;史曉波 | 申請（專利權）人： | 弗薩姆材料美國有限責任公司 |
| 主分類號： | C09G1/02 | 分類號： | C09G1/02;C23F3/06;C23F3/04 |
| 代理公司： | 北京市金杜律師事務所 11256 | 代理人： | 吳亦華;徐志明 |
| 地址： | 美國亞*** | 國省代碼： | 美國;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 化學 機械拋光 中的 凹陷 減少 | ||
【說明書】：
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