[發(fā)明專利]真空及漏率多功能校準(zhǔn)裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201610077589.4
• 申請(qǐng)日: 2016-02-03
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN105675208B
• 公開(kāi)（公告）日: 2018-01-12
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 林瑞初;劉金生;凌波;陳俊華;張兵;陳星;吳傳亮;付香萍;丁軍平;肖永超;馬濤;胡勇才;王立全;牛巖;李曉慶;付增志
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 中國(guó)航天員科研訓(xùn)練中心
• 主分類號(hào): G01L27/00
• 分類號(hào): G01L27/00;G01M3/00
• 代理公司: 北京權(quán)泰知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙)11460
• 代理人: 王道川

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種計(jì)量裝置，特別涉及一種真空及漏率多功能校準(zhǔn)裝置。

背景技術(shù)

真空校準(zhǔn)技術(shù)及漏率檢測(cè)技術(shù)在航天、表面、微電子等科研生產(chǎn)中具有重要意義，對(duì)于科研或企業(yè)生產(chǎn)線需要對(duì)真空規(guī)、真空漏孔、檢漏儀以及氣體微流量計(jì)校準(zhǔn)測(cè)試。由于真空參數(shù)較多，所需的校準(zhǔn)裝置種類也較多，如果針對(duì)不同的真空參數(shù)準(zhǔn)備不同的校準(zhǔn)裝置，無(wú)疑會(huì)增加建造校準(zhǔn)裝置的總成本，同時(shí)也會(huì)占用校準(zhǔn)實(shí)驗(yàn)室較大的場(chǎng)地空間。對(duì)于可以對(duì)多種真空規(guī)或其他真空測(cè)量裝置進(jìn)行校準(zhǔn)的校準(zhǔn)裝置而言，由于其功能較多，組件比較多，現(xiàn)有實(shí)驗(yàn)臺(tái)或?qū)嶒?yàn)柜等校準(zhǔn)檢驗(yàn)用輔助設(shè)施無(wú)法滿足此類校準(zhǔn)裝置的搭建需求，在現(xiàn)有的校準(zhǔn)檢驗(yàn)用輔助設(shè)施上搭建組裝此類校準(zhǔn)裝置，會(huì)導(dǎo)致組裝好的校準(zhǔn)裝置的結(jié)構(gòu)穩(wěn)定性差，易導(dǎo)致校準(zhǔn)用檢測(cè)管路受損，如因管道彎折或扭轉(zhuǎn)導(dǎo)致管壁破裂或者管路堵塞，進(jìn)而可能導(dǎo)致校準(zhǔn)精度下降，甚至無(wú)法進(jìn)行校準(zhǔn)。而且現(xiàn)有真空校準(zhǔn)裝置中的多數(shù)存在功能單一化、校準(zhǔn)范圍較窄、校準(zhǔn)精度不高的問(wèn)題，進(jìn)而使得計(jì)量單位不得不建造更多的校準(zhǔn)裝置來(lái)滿足實(shí)際校準(zhǔn)需求。

發(fā)明內(nèi)容

有鑒于此，本發(fā)明在于提供一種符合國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)、操作方便、校準(zhǔn)數(shù)據(jù)準(zhǔn)確可靠且精度高、檢定效率高并具有較寬的校準(zhǔn)范圍的真空及漏率多功能校準(zhǔn)裝置，不僅可以對(duì)真空規(guī)校準(zhǔn)，還可以實(shí)現(xiàn)對(duì)漏孔的校準(zhǔn)。

為解決上述問(wèn)題，本發(fā)明采用如下技術(shù)方案：真空及漏率多功能校準(zhǔn)裝置，其特征在于，包括真空及漏率多功能校準(zhǔn)裝置檢定臺(tái)、真空及漏率多功能校準(zhǔn)裝置控制箱、控制系統(tǒng)和真空及漏率多功能校準(zhǔn)系統(tǒng)；

所述真空及漏率多功能校準(zhǔn)裝置檢定臺(tái)包括安裝架、上面板、側(cè)面板和泵體安裝板；所述上面板上設(shè)有管路安裝孔以及定位螺孔；所述側(cè)面板包括側(cè)箱蓋和側(cè)箱蓋安裝板，所述側(cè)箱蓋安裝板設(shè)有側(cè)箱蓋安裝槽，所述側(cè)箱蓋安裝槽槽底設(shè)有側(cè)箱蓋安裝孔，所述側(cè)箱蓋安裝孔內(nèi)設(shè)有限位擋板，所述側(cè)箱蓋設(shè)在所述側(cè)箱蓋安裝孔內(nèi)；所述上面板設(shè)在所述安裝架的頂部并與所述安裝架固定連接，所述側(cè)面板設(shè)在所述安裝架的側(cè)面并與所述安裝架固定連接，所述泵體安裝板設(shè)在所述安裝架的底部并與所述安裝架固定連接；

所述真空及漏率多功能校準(zhǔn)裝置控制箱包括箱體和控制系統(tǒng)安裝架，所述箱體頂部設(shè)有上箱蓋，所述上箱蓋上沿周向設(shè)有第一散熱孔，所述箱體側(cè)面設(shè)有第一側(cè)面箱蓋、第二側(cè)面箱蓋、第三側(cè)面箱蓋和第四側(cè)面箱蓋，所述第一側(cè)面箱蓋設(shè)有觀察窗口，所述觀察窗口內(nèi)設(shè)有透明玻璃板，所述箱體箱底下表面四個(gè)角上均設(shè)有定位支腳和萬(wàn)向腳輪，所述萬(wàn)向腳輪通過(guò)可調(diào)連接件與所述箱體箱底下表面固定連接；所述控制系統(tǒng)安裝架設(shè)在所述箱體內(nèi)；

所述控制系統(tǒng)設(shè)在所述箱體內(nèi)；

所述真空及漏率多功能校準(zhǔn)系統(tǒng)包括檢測(cè)管路、真空校準(zhǔn)分系統(tǒng)、漏率校準(zhǔn)分系統(tǒng)、機(jī)械泵和分子泵；所述檢測(cè)管路包括導(dǎo)氣管、手動(dòng)隔斷閥V₉、手動(dòng)隔斷閥V₁₀、手動(dòng)隔斷閥V₂、手動(dòng)隔斷閥V₁、電磁隔斷閥V₁₅和電阻規(guī)G₅；所述手動(dòng)隔斷閥V₉、所述手動(dòng)隔斷閥V₁₀、所述手動(dòng)隔斷閥V₂、所述手動(dòng)隔斷閥V₁、所述分子泵、所述電磁隔斷閥V₁₅和所述電阻規(guī)G₅通過(guò)導(dǎo)氣管依次連接；所述機(jī)械泵依次經(jīng)過(guò)電磁隔斷閥V₁₇和擋油阱與位于所述手動(dòng)隔斷閥V₉和所述電阻規(guī)G₅之間的所述檢測(cè)管路連接導(dǎo)通，所述漏率校準(zhǔn)分系統(tǒng)與位于所述手動(dòng)隔斷閥V₉和所述手動(dòng)隔斷閥V₂之間的所述檢測(cè)管路連接導(dǎo)通，所述真空校準(zhǔn)分系統(tǒng)與位于所述手動(dòng)隔斷閥V₂和所述手動(dòng)隔斷閥V₁之間的所述檢測(cè)管路連接導(dǎo)通，位于所述手動(dòng)隔斷閥V₁和所述分子泵之間的所述檢測(cè)管路經(jīng)過(guò)微調(diào)閥V₁₆與氮?dú)獯鎯?chǔ)裝置連接導(dǎo)通。

本發(fā)明的有益效果是：

1.本發(fā)明的真空及漏率多功能校準(zhǔn)裝置檢定臺(tái)的四個(gè)側(cè)面設(shè)有的可拆卸側(cè)箱蓋便于在檢定臺(tái)內(nèi)部搭建組裝真空及漏率多功能校準(zhǔn)裝置的部分組件及管路，如機(jī)械真空泵、分子泵以及一些手動(dòng)閥等，使校準(zhǔn)裝置的搭建不會(huì)受到單一出入口的限制，使得安裝人員有足夠大的活動(dòng)空間，從而降低了校準(zhǔn)裝置的組裝難度。