[發明專利]真空及漏率多功能校準裝置

有效

• 申請號: 201610077589.4
• 申請日: 2016-02-03
• 公開（公告）號: CN105675208B
• 公開（公告）日: 2018-01-12
• 發明（設計）人: 林瑞初;劉金生;凌波;陳俊華;張兵;陳星;吳傳亮;付香萍;丁軍平;肖永超;馬濤;胡勇才;王立全;牛巖;李曉慶;付增志
• 申請（專利權）人: 中國航天員科研訓練中心
• 主分類號: G01L27/00
• 分類號: G01L27/00;G01M3/00
• 代理公司: 北京權泰知識產權代理事務所(普通合伙)11460
• 代理人: 王道川

1.真空及漏率多功能校準裝置，其特征在于，包括真空及漏率多功能校準裝置檢定臺、真空及漏率多功能校準裝置控制箱、控制系統和真空及漏率多功能校準系統(200)；

所述真空及漏率多功能校準裝置檢定臺包括安裝架(301)、上面板(302)、側面板和泵體安裝板(314)；所述上面板(302)上設有管路安裝孔以及定位螺孔(311)；所述側面板包括側箱蓋(304)和側箱蓋安裝板(303)，所述側箱蓋安裝板(303)設有側箱蓋安裝槽(306)，所述側箱蓋安裝槽(306)槽底設有側箱蓋安裝孔(307)，所述側箱蓋安裝孔(307)內設有限位擋板(312)，所述側箱蓋(304)設在所述側箱蓋安裝孔(307)內；所述上面板(302)設在所述安裝架(301)的頂部并與所述安裝架(301)固定連接，所述側面板設在所述安裝架(301)的側面并與所述安裝架(301)固定連接，所述泵體安裝板(314)設在所述安裝架(301)的底部并與所述安裝架(301)固定連接；

所述真空及漏率多功能校準裝置控制箱包括箱體(401)和控制系統安裝架(402)，所述箱體(401)頂部設有上箱蓋(403)，所述上箱蓋(403)上沿周向設有第一散熱孔(404)，所述箱體(401)側面設有第一側面箱蓋(405)、第二側面箱蓋(406)、第三側面箱蓋和第四側面箱蓋(407)，所述第一側面箱蓋(405)設有觀察窗口(408)，所述觀察窗口(408)內設有透明玻璃板(409)，所述箱體(401)箱底下表面四個角上均設有定位支腳(410)和萬向腳輪(411)，所述萬向腳輪(411)通過可調連接件與所述箱體(401)箱底下表面固定連接；所述控制系統安裝架(402)設在所述箱體(401)內；

所述控制系統設在所述箱體(401)內；

所述真空及漏率多功能校準系統(200)包括檢測管路、真空校準分系統(203)、漏率校準分系統(204)、機械泵(201)和分子泵(202)；所述檢測管路包括導氣管、手動隔斷閥V₉(207)、手動隔斷閥V₁₀(208)、手動隔斷閥V₂(222)、手動隔斷閥V₁(205)、電磁隔斷閥V₁₅(210)和電阻規G₅(224)；所述手動隔斷閥V₉(207)、所述手動隔斷閥V₁₀(208)、所述手動隔斷閥V₂(222)、所述手動隔斷閥V₁(205)、所述分子泵(202)、所述電磁隔斷閥V₁₅(210)和所述電阻規G₅(224)通過導氣管依次連接；所述機械泵(201)依次經過電磁隔斷閥V₁₇(212)和擋油阱(213)與位于所述手動隔斷閥V₉(207)和所述電阻規G₅(224)之間的所述檢測管路連接導通，所述漏率校準分系統(204)與位于所述手動隔斷閥V₉(207)和所述手動隔斷閥V₂(222)之間的所述檢測管路連接導通，所述真空校準分系統(203)與位于所述手動隔斷閥V₂(222)和所述手動隔斷閥V₁(205)之間的所述檢測管路連接導通，位于所述手動隔斷閥V₁(205)和所述分子泵(202)之間的所述檢測管路經過微調閥V₁₆(211)與氮氣存儲裝置(226)連接導通。

2.根據權利要求1所述的真空及漏率多功能校準裝置，其特征在于，還包括微機、標準電離計和復合真空計，所述微機分別與所述標準電離計和所述復合真空計通信連接；所述微機配有顯示屏(109)；所述分子泵(202)和所述擋油阱(213)分別配有加熱裝置。