[發(fā)明專利]一種銅鋅錫硫薄膜及其制備方法在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 201610077308.5 | 申請日: | 2016-02-03 |
| 公開(公告)號: | CN105552172A | 公開(公告)日: | 2016-05-04 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 常遠(yuǎn)程;朱小寧;沈曉輝;鄧增社 | 申請(專利權(quán))人: | 陜西煤業(yè)化工技術(shù)研究院有限責(zé)任公司 |
| 主分類號: | H01L31/18 | 分類號: | H01L31/18;H01L31/032;H01L21/368 |
| 代理公司: | 西安通大專利代理有限責(zé)任公司 61200 | 代理人: | 徐文權(quán) |
| 地址: | 710077 陜西省西安市*** | 國省代碼: | 陜西;61 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 一種 銅鋅錫硫 薄膜 及其 制備 方法 | ||
【技術(shù)領(lǐng)域】
本發(fā)明涉及一種薄膜太陽能電池,特別是一種銅鋅錫硫薄膜及其制備方法。
【背景技術(shù)】
近年來,基于四元硫族化合物半導(dǎo)體銅鋅錫硫(CZTS)的薄膜太陽能電池已經(jīng)達(dá)到了光電 轉(zhuǎn)換效率為11.1%的世界記錄,而且這種材料的各組成元素在地殼中的豐度較高、光電性能優(yōu) 良。當(dāng)前對這種化合物半導(dǎo)體的一個(gè)研究熱點(diǎn)是利用它的納米材料,通過非真空工藝,來實(shí)現(xiàn) 大面積的吸收層薄膜的制備,這類方法具有成本低、工藝相對簡單等優(yōu)點(diǎn)。
發(fā)展可再生能源是當(dāng)今應(yīng)對能源危機(jī)和環(huán)境污染的重要舉措,太陽能取之不盡、用之不竭, 是目前最具潛力的清潔、可再生能源之一。為了實(shí)現(xiàn)降低太陽電池成本的目標(biāo),美、歐、澳、 日等發(fā)達(dá)國家均把目光投向了具有很大成本優(yōu)勢的薄膜太陽電池上。
其中,銅銦鎵硒(CIGS)太陽能電池在薄膜電池中的轉(zhuǎn)換效率最高,小面積電池的轉(zhuǎn)換效 率已經(jīng)達(dá)到20.3%。但這種薄膜電池需要大量消耗銦,鎵等稀有金屬,隨著產(chǎn)量的上升,與其 他技術(shù)相比,材料成本將成為非常重要的競爭因素。
相比之下,銅鋅錫硫半導(dǎo)體材料以硫替代了銅銦鎵硒中的硒,以鋅和錫替代了稀有金屬銦 和鎵,這些組成元素在地殼中的含量豐富、價(jià)格低廉且低毒。同時(shí),銅鋅錫硫具有與太陽光譜 十分匹配的直接帶隙(1.4~1.5電子伏特)和超過104cm-1的吸收系數(shù)。銅鋅錫硫吸收層作為 電池中吸收太陽光的主要部分,其質(zhì)量好壞對于電池器件的性能起到?jīng)Q定性作用。銅鋅錫硫的 制備方法很多,大體可分為真空和非真空兩類,真空法可以實(shí)現(xiàn)精確控制沉積速度從而得到均 勻一致的薄膜,但真空法成本高、工藝過程復(fù)雜且原料利用率低。非真空法由于其廉價(jià)、工藝 簡單、重復(fù)性好等優(yōu)點(diǎn),成為極具發(fā)展?jié)摿Φ谋∧ぶ苽浞椒āF渲校{米顆粒法在非真空方法 中占有重要地位。但一般來說,非真空法制備的薄膜含雜質(zhì)較多。
【發(fā)明內(nèi)容】
本發(fā)明要解決的技術(shù)問題是,在原有銅鋅錫硫薄膜制備的基礎(chǔ)上,提供一種銅鋅錫硫薄 膜及其制備方法,制備過程速度快,對環(huán)境友好,成本低廉。
本發(fā)明采用以下技術(shù)方案:
一種銅鋅錫硫薄膜的制備方法,包括以下步驟:
(1)將銅源、鋅源、錫源分別溶解后混合成混合溶液A;
(2)將混合溶液A加熱至170~210℃,加熱過程中通入氬氣;
(3)混合溶液A加熱后,向其中加入硫源溶液,靜置、冷卻;
(4)將步驟(3)得到的溶液加熱至80~120℃后,加入分散劑分散,靜置分層;
(5)將步驟(4)分層的上層溶液吸出,即得銅鋅錫硫納米顆粒溶液;
(6)以步驟(5)得到的銅鋅錫硫納米顆粒溶液為前驅(qū)體,采用旋涂法制備銅鋅錫硫薄膜。
混合溶液A為硫酸銅溶液、硫酸鋅溶液、硫酸錫溶液的混合溶液,其中,硫酸鋅摩爾濃度 為5~15毫摩爾/升。
所述硫源為硫化鈉;五水硫酸銅晶體、七水硫酸鋅晶體、二水硫酸錫晶體和九水硫化鈉晶 體的摩爾比為(1.8~2.2):(0.8~1.2):(0.8~1.2):(3.7~4.3)。
所述銅源、鋅源、錫源、硫源均溶解在有機(jī)溶劑中,該有機(jī)溶劑為乙二醇、乙醇、甲醇、 丙醇、丁醇、叔丁醇、異丙醇、異戊醇和正丁醇中的任意一種。
溶解銅源、鋅源、錫源、硫源的有機(jī)溶劑相同,所述硫源是逐滴加入到混合溶液A中的。
所述分散劑為分析純純度的正十二烷基硫醇,所加正十二烷基硫醇量為溶解銅源、鋅源、 錫源、硫源的有機(jī)溶劑之和。
旋涂法制備銅鋅錫硫薄膜時(shí),首先在基片上鍍鉬薄膜,然后在鉬薄膜上制備銅鋅錫硫薄膜。
所述鉬薄膜采用磁控真空濺射法制備。
制備的銅鋅錫硫薄膜最后進(jìn)行退火硫化,退火硫化的溫度為400~500℃,時(shí)間為30~60 分鐘。
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H01L 半導(dǎo)體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L31-00 對紅外輻射、光、較短波長的電磁輻射,或微粒輻射敏感的,并且專門適用于把這樣的輻射能轉(zhuǎn)換為電能的,或者專門適用于通過這樣的輻射進(jìn)行電能控制的半導(dǎo)體器件;專門適用于制造或處理這些半導(dǎo)體器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半導(dǎo)體本體為特征的
H01L31-04 .用作轉(zhuǎn)換器件的
H01L31-08 .其中的輻射控制通過該器件的電流的,例如光敏電阻器
H01L31-12 .與如在一個(gè)共用襯底內(nèi)或其上形成的,一個(gè)或多個(gè)電光源,如場致發(fā)光光源在結(jié)構(gòu)上相連的,并與其電光源在電氣上或光學(xué)上相耦合的





