[發明專利]半導體裝置測量方法在審
| 申請號： | 201610076200.4 | 申請日： | 2016-02-03 |
| 公開（公告）號： | CN105842601A | 公開（公告）日： | 2016-08-10 |
| 發明（設計）人： | 伊藤智章 | 申請（專利權）人： | 株式會社泰塞克 |
| 主分類號： | G01R31/26 | 分類號： | G01R31/26 |
| 代理公司： | 北京瑞恒信達知識產權代理事務所(普通合伙) 11382 | 代理人： | 曹津燕;尹卓 |
| 地址： | 日本國東京都東大*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 半導體 裝置 測量方法 | ||
【說明書】：
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