[發(fā)明專利]碳納米管薄膜、包含該薄膜的裝置及制備方法、載體基板

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• 申請?zhí)枺?/td>: 201610073659.9
• 申請日: 2016-02-02
• 公開（公告）號: CN105702861A
• 公開（公告）日: 2016-06-22
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 張方振;惠官寶;高濤;寧策
• 申請（專利權(quán)）人: 京東方科技集團(tuán)股份有限公司
• 主分類號: H01L51/05
• 分類號: H01L51/05;H01L27/28;H01L51/30;H01L51/40
• 代理公司: 北京中博世達(dá)專利商標(biāo)代理有限公司 11274
• 代理人: 申健

1.一種碳納米管薄膜的制備方法，其特征在于，包括：

將載體基板放入碳納米管懸浮液中，所述載體基板包括第一襯底 基板以及形成于所述第一襯底基板上的電極對，所述電極對包括相對 設(shè)置的第一電極和第二電極；

對構(gòu)成所述電極對的第一電極和第二電極分別施加電壓，使得所 述第一電極和所述第二電極之間形成電場，所述碳納米管懸浮液中的 碳納米管在所述電場作用下聚集在所述第一襯底基板設(shè)置有所述電極 對的一側(cè)表面，以形成碳納米管薄膜。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的碳納米管薄膜的制備方法，其特征在于， 對所述第一電極和所述第二電極分別施加的電壓為1V～50V。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的碳納米管薄膜的制備方法，其特征在于， 對構(gòu)成所述電極對的第一電極和第二電極分別施加電壓的時間為 1s～300s。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的碳納米管薄膜的制備方法，其特征在于， 所述碳納米管懸浮液中分散劑包括乙醇、氯仿、鄰二甲苯、甲苯中的 至少一種。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的碳納米管薄膜的制備方法，其特征在于， 還包括：將形成有碳納米管薄膜的第一襯底基板從所述碳納米管懸浮 液中取出，并對所述碳納米管薄膜行進(jìn)行干燥處理。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的碳納米管薄膜的制備方法，其特征在于， 構(gòu)成所述第一電極的材料包括鋁和銅中的至少一種；

構(gòu)成所述第二電極的材料包括鋁和銅中的至少一種。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的碳納米管薄膜的制備方法，其特征在于， 所述將載體基板放入碳納米管懸浮液中之前，還包括：

在所述載體基板上形成犧牲層，所述犧牲層至少覆蓋部分所述電 極對的表面，以及構(gòu)成一電極對的第一電極與第二電極之間的所述第 一襯底基板的表面。

8.一種薄膜晶體管的制備方法，其特征在于，包括：

采用如權(quán)利要求1-7任一項所述的碳納米管薄膜的制備方法形成 碳納米管薄膜；

將第一襯底基板與待制備薄膜晶體管的第二襯底基板對合，并將 所述碳納米管薄膜轉(zhuǎn)印至所述薄膜晶體管有源層的預(yù)設(shè)位置；其中， 所述碳納米管薄膜的圖案與所述薄膜晶體管有源層的圖案相匹配；

剝離所述第一襯底基板。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的薄膜晶體管的制備方法，其特征在于， 所述將第一襯底基板與待制備薄膜晶體管的第二襯底基板對合，并將 所述碳納米管薄膜轉(zhuǎn)印至所述薄膜晶體管有源層的預(yù)設(shè)位置之前，所 述方法還包括：

在所述碳納米管薄膜背離所述第一襯底基板的一側(cè)表面形成粘結(jié) 層。

10.根據(jù)權(quán)利要求8所述的薄膜晶體管的制備方法，其特征在于， 當(dāng)載體基板上形成有犧牲層時，所述剝離第一襯底基板之后，所述方 法還包括將所述犧牲層去除。

11.一種陣列基板的制備方法，其特征在于，包括如權(quán)利要求8-10 任一項所述的薄膜晶體管的制備方法；

其中，第二襯底基板上形成有多個呈矩陣形式排列的待成型薄膜 晶體管，第一襯底基板上的一個電極對的位置與一個薄膜晶體管的預(yù) 設(shè)位置相對應(yīng)，以使得形成在所述電極對上的碳納米管薄膜的位置與 所述薄膜晶體管有源層的預(yù)設(shè)位置相對應(yīng)。

12.一種薄膜晶體管，其特征在于，采用如權(quán)利要求8-10任一項 所述的薄膜晶體管的制備方法制得。

13.一種陣列基板，其特征在于，采用如權(quán)利要求11所述的陣列 基板的制備方法制得。

14.一種顯示裝置，其特征在于，包括如權(quán)利要求13所述的陣列 基板。

15.一種應(yīng)用于如權(quán)利要求8-10任一項所述的薄膜晶體管的制備 方法中的載體基板，其特征在于，所述載體基板包括第一襯底基板以 及形成于所述第一襯底基板上的電極對，所述電極對包括相對設(shè)置的 第一電極和第二電極。