[發(fā)明專利]一種用于氣相包覆的裝置和方法有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201610070096.8 | 申請日: | 2016-02-01 |
| 公開(公告)號: | CN107022751B | 公開(公告)日: | 2019-10-15 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 劉柏男;褚賡;陸浩;羅飛;鄭杰允;李泓 | 申請(專利權(quán))人: | 溧陽天目先導(dǎo)電池材料科技有限公司 |
| 主分類號: | C23C16/44 | 分類號: | C23C16/44;C23C16/448 |
| 代理公司: | 北京億騰知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11309 | 代理人: | 陳霽 |
| 地址: | 213300 江蘇省溧陽市昆侖街道泓*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
| 權(quán)利要求書: | 查看更多 | 說明書: | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 一種 用于 氣相包覆 裝置 方法 | ||
1.一種用于氣相包覆的裝置,其特征在于,包括:用于盛放液體前軀體的罐體(2),所述罐體(2)的頂部設(shè)置有進(jìn)氣管(7)、進(jìn)液管(8)和出氣管(9),所述罐體(2)的底部設(shè)置有加熱板(4);所述出氣管(9)設(shè)置有噴頭(11),所述噴頭(11)插入反應(yīng)腔體(12)的一側(cè)中,所述反應(yīng)腔體(12)的另一側(cè)通過冷凝裝置(13)與引風(fēng)設(shè)備(14)連接;
液體前軀體通過所述進(jìn)液管(8)進(jìn)入到所述罐體(2)內(nèi),在所述罐體(2)內(nèi)揮發(fā)形成氣體后,和通過所述進(jìn)氣管(7)進(jìn)入所述罐體(2)的氣體混合,再進(jìn)入所述出氣管(9),并由所述噴頭(11)噴入到所述反應(yīng)腔體(12)內(nèi),與所述反應(yīng)腔內(nèi)的包覆對象進(jìn)行包覆反應(yīng);其中,所述進(jìn)氣管(7)的末端具有多個(gè)微孔;在包覆反應(yīng)過程中,由所述冷凝裝置(13)對所述反應(yīng)腔體(12)內(nèi)未反應(yīng)的液體前驅(qū)體冷凝回收,及由所述引風(fēng)設(shè)備(14)將反應(yīng)生成的卻未冷凝的氣體及時(shí)排出;
所述裝置還包括:溫控表和壓力表及安全閥(10);其中,所述溫控表與所述加熱板(4)連接,控制所述加熱板(4)的加熱溫度和功率,使罐體(2)內(nèi)部溫度維持在室溫至500℃;所述壓力表及安全閥(10)外接泄壓管道,用于監(jiān)控及設(shè)定設(shè)備壓力,在罐體內(nèi)壓力超標(biāo)時(shí)自動(dòng)切斷裝置電源;
所述裝置還包括底部支架(6),所述底部支架(6)位于所述加熱板(4)底部;所述底部支架(6)設(shè)置有稱重模塊,所述稱重模塊用于監(jiān)控所述罐體(2)內(nèi)的液體前軀體的質(zhì)量變化。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置,其特征在于,所述罐體(2)承受的最高壓力為6MPa。
3.一種氣相包覆的方法,使用如權(quán)利要求1所述的裝置,其特征在于,所述方法包括:
S10,在罐體中加入液體前驅(qū)體,反應(yīng)腔體內(nèi)加入包覆對象;
S20,加熱板通電進(jìn)行加熱,直至罐體內(nèi)部溫度到達(dá)所述液體前驅(qū)體的沸點(diǎn)以上的預(yù)設(shè)溫度;
S30,加熱反應(yīng)腔體,待溫度達(dá)到所述液體前軀體的裂解溫度后,打開進(jìn)氣管和出氣管,通入所需氣體,包覆反應(yīng)進(jìn)行,同時(shí)打開引風(fēng)設(shè)備及冷凝裝置;
S40,待氣體流量達(dá)到總量要求時(shí),加熱板停止加熱,同時(shí)關(guān)閉進(jìn)氣管,待罐體內(nèi)溫度自然降溫后,關(guān)閉出氣管;
S50,反應(yīng)腔體停止加熱,待溫度自然降溫后,關(guān)閉引風(fēng)設(shè)備及冷凝裝置。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的方法,其特征在于,在加入液體前驅(qū)體之前需確保罐體內(nèi)部溫度不超過所述液體前驅(qū)體的沸點(diǎn)。
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的方法,其特征在于,在包覆反應(yīng)過程中,罐體內(nèi)部溫度不低于所述液體前驅(qū)體的沸點(diǎn)。
6.根據(jù)權(quán)利要求3所述的方法,其特征在于,所述液體前驅(qū)體為氣相包覆的原材料,揮發(fā)后在預(yù)設(shè)溫度下分解固化。
7.根據(jù)權(quán)利要求3所述的方法,其特征在于,所述氣體包括不參與反應(yīng)的載氣和部分參與反應(yīng)的氣體。
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C23C 對金屬材料的鍍覆;用金屬材料對材料的鍍覆;表面擴(kuò)散法,化學(xué)轉(zhuǎn)化或置換法的金屬材料表面處理;真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆
C23C16-00 通過氣態(tài)化合物分解且表面材料的反應(yīng)產(chǎn)物不留存于鍍層中的化學(xué)鍍覆,例如化學(xué)氣相沉積
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C23C16-02 .待鍍材料的預(yù)處理
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