[發(fā)明專利]基于光干涉的位移測量裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201610052806.4
• 申請日: 2016-01-27
• 公開（公告）號: CN105674888B
• 公開（公告）日: 2018-07-06
• 發(fā)明（設計）人: 林澎;孫榮敏;龍盛保;胡江如;韋家見;陳水清;唐麗媛;李金麗;林偉健;龔英姬
• 申請（專利權）人: 廣西科技大學鹿山學院
• 主分類號: G01B11/02
• 分類號: G01B11/02
• 代理公司: 柳州市榮久專利商標事務所(普通合伙) 45113
• 代理人: 周小芹

1.一種基于光干涉的位移測量裝置，其特征在于：包括激光發(fā)射裝置（1）、第一分光棱鏡（2）、第二分光棱鏡（3）、第三分光棱鏡（9）、第四分光棱鏡（10）、第一反射鏡（4）、第二反射鏡（5）、第一直角反射棱鏡組（7）、第二直角反射棱鏡組（8）、第一光電接收裝置（6）、第二光電接收裝置（12）、驅動器（13）；其中：

所述的激光發(fā)射裝置（1）發(fā)射出的激光光路上設置第一分光棱鏡（2），第一分光棱鏡（2）的分光光路包括分光光路A、分光光路B；所述的分光光路A上設置第二分光棱鏡（3），第二分光棱鏡（3）的分光光路包括分光光路C、分光光路D；所述的分光光路C上設有光學諧振腔，該光學諧振腔由第一反射鏡（4）、第二反射鏡（5）構成；光學諧振腔之后設置有所述的第一光電接收裝置（6）；第二分光棱鏡（3）的分光光路D上設置有所述的第一直角反射棱鏡組（7）、第二直角反射棱鏡組（8），第一直角反射棱鏡組（7）的一端與第一反射鏡（4）固定連接，第二直角反射棱鏡組（8）的一端與第二反射鏡（5）固定連接，第一直角反射棱鏡組(7)、第二直角反射棱鏡組（8）的另一端與驅動器（13）連接，第一直角反射棱鏡組（7）、第二直角反射棱鏡組（8）的反射光回射到第二分光棱鏡（3）形成分光光路F，第二分光棱鏡（3）的分光光路F上設有所述的第三分光棱鏡（9）；所述的第一分光棱鏡（2）的分光光路B上設置第四分光棱鏡（10），第四分光棱鏡（10）的分光光路E上設置有直角反射鏡（11），直角反射鏡（11）的反射光進入第三分光棱鏡（9），第三分光棱鏡（9）的分光光路G上設有所述的第二光電接收裝置（12）。

2.根據權利要求1所述的基于光干涉的位移測量裝置，其特征在于：所述的第一分光棱鏡（2）包括直角棱鏡Ⅰ（201）和直角棱鏡Ⅱ（202），直角棱鏡Ⅰ（201）和直角棱鏡Ⅱ（202）的斜面粘合在一起；所述的第二分光棱鏡（3）包括直角棱鏡Ⅲ（301）和直角棱鏡Ⅳ（302），直角棱鏡Ⅲ（301）和直角棱鏡Ⅳ（302）的斜面粘合在一起，且直角棱鏡Ⅲ（301）和直角棱鏡Ⅳ（302）相對的直角面平行。

3.根據權利要求2所述的基于光干涉的位移測量裝置，其特征在于：所述的直角棱鏡Ⅲ（301）在其直角面處設有光吸收及漫反射層Ⅰ（304），直角棱鏡Ⅳ（302）在直角面處設有光吸收及漫反射層Ⅱ（303）。

4.根據權利要求1所述的基于光干涉的位移測量裝置，其特征在于：所述的第一反射鏡（4）在靠近第二反射鏡（5）一側鍍履有反射膜；所述的第二反射鏡（5）在靠近第一反射鏡（4）一側鍍履有反射膜。

5.根據權利要求4所述的基于光干涉的位移測量裝置，其特征在于：所述的激光發(fā)射裝置（1）的光譜寬度為λ₀～λ_n；所述的第一反射鏡（4）在光譜寬度λ₀～λ_n的光束中對光譜寬度λ_i～λ_j的波長反射率為90～99%；所述的第二反射鏡（5）在光譜寬度λ₀～λ_n的光束中對光譜寬度λ_i～λ_j的波長反射率為90～99%；所述的λ₀ ～λ_n 為0.1～2um，λ_i～λ_j為0.2～0.4um。

6.根據權利要求5所述的基于光干涉的位移測量裝置，其特征在于：所述的第一光電接收裝置（6）用于對波長λ_i～λ_j光束的能量進行分析，并計算出第一反射鏡（4）和第二反射鏡（5）的距離；所述的第二光電接收裝置，用于對不同波長λ₀～λ_n的光束能量進行分析，并分析出光能量最強的波長；所述的λ₀ ～λ_n 為0.1～2um，λ_i～λ_j為0.2～0.4um。