[發明專利]柔性薄膜貼合與剝離方法、柔性基板制備方法、襯底基板

有效

• 申請號: 201610041820.4
• 申請日: 2016-01-21
• 公開（公告）號: CN105690974B
• 公開（公告）日: 2019-01-18
• 發明（設計）人: 陳維濤;王俊偉;宋洋
• 申請（專利權）人: 京東方科技集團股份有限公司;北京京東方顯示技術有限公司
• 主分類號: B32B37/12
• 分類號: B32B37/12;B32B38/10
• 代理公司: 北京中博世達專利商標代理有限公司 11274
• 代理人: 申健

1.一種柔性薄膜的剝離方法，其特征在于，所述柔性薄膜位于襯底基板的上方；所述襯底基板具有四周區域和位于所述四周區域內的中間區域，所述中間區域內設置有多個貫通孔；所述襯底基板的上表面上設置有位于所述四周區域內的密封膠層、位于所述中間區域內的中間膠層；所述密封膠層固化后具有脆性；所述柔性薄膜貼合在所述密封膠層和所述中間膠層上；

所述剝離方法包括：

對固化后的所述密封膠層進行形變處理，以使所述密封膠層與所述柔性薄膜相接觸的表面發生斷裂；

使反應液通過所述貫通孔與所述中間膠層反應，以使所述中間膠層與所述柔性薄膜分離；

將所述柔性薄膜與位于所述襯底基板上表面上的膠層相剝離。

2.根據權利要求1所述的柔性薄膜的剝離方法，其特征在于，所述襯底基板遠離所述柔性薄膜的下表面上貼覆有至少覆蓋所述貫通孔的襯底保護膜，所述襯底保護膜用于使在進行所述剝離方法之前對所述柔性薄膜進行處理的工藝中采用的處理液不會通過所述貫通孔與所述中間膠層相接觸；

在所述使反應液通過所述貫通孔與所述中間膠層反應，以使所述中間膠層與所述柔性薄膜分離的步驟之前，所述剝離方法還包括：

去除所述襯底保護膜，以暴露出所述貫通孔。

3.根據權利要求1所述的柔性薄膜的剝離方法，其特征在于，所述貫通孔內填充有形變材料，以使在進行所述剝離方法之前對所述柔性薄膜進行處理的工藝中采用的處理液不會通過所述貫通孔與所述中間膠層相接觸；

在所述使反應液通過所述貫通孔與所述中間膠層反應，以使所述中間膠層與所述柔性薄膜分離的步驟之前，所述剝離方法還包括：

對所述貫通孔內填充的所述形變材料進行加熱或降溫處理，以使所述形變材料的形狀發生變化以通過所述貫通孔暴露出所述中間膠層。

4.根據權利要求1所述的柔性薄膜的剝離方法，其特征在于，所述貫通孔的內壁設置有浸潤膜層；其中，在進行所述剝離方法之前對所述柔性薄膜進行處理的工藝中采用的處理液在所述浸潤膜層表面的接觸角大于90°，所述反應液在所述浸潤膜層表面的接觸角小于或等于90°。

5.根據權利要求1所述的柔性薄膜的剝離方法，其特征在于，

所述中間膠層與所述反應液反應后發生溶解；

或者，

所述中間膠層與所述反應液反應后粘性消失。

6.根據權利要求5所述的柔性薄膜的剝離方法，其特征在于，

在所述中間膠層與所述反應液反應后發生溶解的情況下，所述將所述柔性薄膜與位于所述襯底基板上表面上的膠層相剝離的步驟，具體包括：

將所述柔性薄膜與位于所述襯底基板上表面上的密封膠層相剝離；

或者，

在所述中間膠層與所述反應液反應后粘性消失的情況下，所述將所述柔性薄膜與位于所述上表面上的膠層相剝離的步驟，具體包括：

將所述柔性薄膜與位于所述襯底基板上表面上的密封膠層和所述中間膠層相剝離。

7.根據權利要求1所述的柔性薄膜的剝離方法，其特征在于，所述使反應液通過所述貫通孔與所述中間膠層反應，以使所述中間膠層與所述柔性薄膜分離的步驟，具體包括：

將所述襯底基板遠離所述柔性薄膜的下表面浸入盛有反應液的容器中，使反應液通過所述貫通孔與所述中間膠層反應，以使所述中間膠層與所述柔性薄膜分離；

或者，

通過浸有反應液的吸水體在所述襯底基板遠離所述柔性薄膜的下表面反復擦拭，使所述反應液通過所述貫通孔與所述中間膠層反應，以使所述中間膠層與所述柔性薄膜分離。

8.根據權利要求1所述的柔性薄膜的剝離方法，其特征在于，所述柔性薄膜由柔性薄膜主體和柔性保護膜構成；其中，所述柔性保護膜與所述密封膠層和所述中間膠層均直接接觸；

在所述將所述柔性薄膜與位于所述襯底基板上表面上的膠層相剝離的步驟之后，所述剝離方法還包括：

去掉所述柔性薄膜中的柔性保護膜，并貼覆新的柔性保護膜。