[發(fā)明專利]一種頻域光學相干層析裝置與方法

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201610039929.4
• 申請日: 2016-01-21
• 公開（公告）號: CN105534481A
• 公開（公告）日: 2016-05-04
• 發(fā)明（設計）人: 高鵬;凌福日
• 申請（專利權(quán)）人: 華中科技大學
• 主分類號: A61B5/00
• 分類號: A61B5/00;G01N21/45
• 代理公司: 華中科技大學專利中心 42201
• 代理人: 廖盈春

1.一種頻域光學相干層析裝置，所述裝置包括產(chǎn)生THz的汞燈、 分束器、用于橫向掃描的電控二維平移臺、用于放置樣品的載物臺、 參考反射鏡、衍射光柵、電控一維平移臺、探測器；

所述汞燈的出射光經(jīng)分束器分別通過樣品臂和參考臂，經(jīng)過干涉 再通過所述衍射光柵后被所述探測器所接收；

所述樣品臂包括用于所述橫向掃描的電控二維平移臺和所述用 于放置樣品的載物臺，用于將光入射到所述樣品內(nèi)部并反射回來；

所述參考臂包括所述參考反射鏡，用于將光進行反射并與通過所 述樣品臂的光進行干涉；

所述探測器位于所述電控一維平臺上。

2.如權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，所述裝置還包括對 所述探測器輸出的探測信號進行放大處理的鎖相放大器；記錄所述鎖 相放大器輸出信號的電腦；以及控制所述電控二維平移臺以及所述電 控一維平移臺的控制器。

3.如權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，所述裝置還包括孔 徑光闌，所述孔徑光闌在光路上位于所述分束器之前，用于控制光斑 尺寸大小并且增加干涉對比度。

4.如權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，分束器是由在Mylar 薄膜上制作的金屬光柵構(gòu)成的，其透射反射比為4:1。

5.一種采用如權(quán)利要求1-4中之一的所述裝置的頻域光學相干 層析方法，其特征在于，所述方法包括以下步驟：

(1)初始化電控二維平移臺到橫向掃描初始點，初始化電控一 維平移臺使其沿衍射光斑進行橫向掃描；

(2)所述汞燈輸出的THz波入射到分束器上，分為參考光和樣 品光，所述參考光經(jīng)所述參考反射器反射回來，所述樣品光經(jīng)入射到 所述樣品內(nèi)部反射回來，并匯聚到分束器上的同一點；

(3)所述參考光和所述樣品光干涉后，經(jīng)過所述衍射光柵被探 測器接收。

6.如權(quán)利要求5所述的方法，其特征在于，所述方法還包括步 驟(4)所述探測器將光信號轉(zhuǎn)換為電信號，再由鎖相放大器放大處 理并被電腦收集。

7.如權(quán)利要求6所述的方法，其特征在于，所述方法還包括步 驟(5)對所述電腦采集的數(shù)據(jù)進行相關數(shù)據(jù)處理完成三維重構(gòu)。