[發(fā)明專利]PERC太陽能電池及其制備方法有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201610038035.3 | 申請日： | 2016-01-20 |
| 公開（公告）號： | CN105489709B | 公開（公告）日： | 2018-04-13 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 張為國;劉超;劉成法;張松;陳寒;夏世偉;季海晨 | 申請（專利權(quán)）人： | 上海大族新能源科技有限公司 |
| 主分類號： | H01L31/18 | 分類號： | H01L31/18;H01L31/0216 |
| 代理公司： | 廣州華進(jìn)聯(lián)合專利商標(biāo)代理有限公司44224 | 代理人： | 何沖 |
| 地址： | 201615 *** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | perc 太陽能電池 及其 制備 方法 | ||
1.一種PERC太陽能電池的制備方法，其特征在于，包括如下步驟：
對硅片依次進(jìn)行雙面拋光、制絨、擴(kuò)散、刻蝕和去雜質(zhì)玻璃、高錳酸氧化；
背面依次沉積鈍化層以及保護(hù)層；
正面沉積減反射層；
背面局部開口、印刷正背面金屬漿料以及燒結(jié)，得到PERC太陽能電池；
所述高錳酸氧化步驟中，氧化的時間為5min～30min，氧化的溫度為50℃～80℃；高錳酸的體積分?jǐn)?shù)為50％～80％。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的PERC太陽能電池的制備方法，其特征在于，所述雙面拋光步驟中，采用無機(jī)堿溶液進(jìn)行雙面拋光，單面拋光減薄量為5μm～15μm。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的PERC太陽能電池的制備方法，其特征在于，所述制絨步驟中，采用等離子刻蝕絨面。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的PERC太陽能電池的制備方法，其特征在于，所述擴(kuò)散步驟中，采用旋涂法進(jìn)行擴(kuò)散，擴(kuò)散方阻為70ohm/sq～100ohm/sq。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的PERC太陽能電池的制備方法，其特征在于，所述鈍化層為氧化鋁層或氧化硅層，所述保護(hù)層為氮化硅薄膜，所述減反射層為氮化硅減反射薄膜。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的PERC太陽能電池的制備方法，其特征在于，所述鈍化層的厚度為5nm～40nm。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的PERC太陽能電池的制備方法，其特征在于，所述硅片為P型多晶硅。
8.一種PERC太陽能電池，其特征在于，所述PERC太陽能電池根據(jù)權(quán)利要求1～7中任一項所述的PERC太陽能電池的制備方法制備而成。
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H01L 半導(dǎo)體器件；其他類目中不包括的電固體器件
H01L31-00 對紅外輻射、光、較短波長的電磁輻射，或微粒輻射敏感的，并且專門適用于把這樣的輻射能轉(zhuǎn)換為電能的，或者專門適用于通過這樣的輻射進(jìn)行電能控制的半導(dǎo)體器件；專門適用于制造或處理這些半導(dǎo)體器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半導(dǎo)體本體為特征的
H01L31-04 .用作轉(zhuǎn)換器件的
H01L31-08 .其中的輻射控制通過該器件的電流的，例如光敏電阻器
H01L31-12 .與如在一個共用襯底內(nèi)或其上形成的，一個或多個電光源，如場致發(fā)光光源在結(jié)構(gòu)上相連的，并與其電光源在電氣上或光學(xué)上相耦合的
