[發明專利]基于兩個平面光柵的氣浮臺三自由度位移測量系統有效
| 申請號： | 201610023026.7 | 申請日： | 2016-01-14 |
| 公開（公告）號： | CN105509644B | 公開（公告）日： | 2018-01-12 |
| 發明（設計）人： | 劉永猛;譚久彬 | 申請（專利權）人： | 哈爾濱工業大學 |
| 主分類號： | G01B11/02 | 分類號： | G01B11/02 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 150001 黑龍*** | 國省代碼： | 黑龍江;23 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 基于 兩個 平面 光柵 浮臺 自由度 位移 測量 系統 | ||
1.一種基于兩個平面光柵的氣浮臺三自由度位移測量系統，該系統包括基座(1)、氣浮臺(2)、第一工件臺(4a)、第二工件臺(4b)，所述氣浮臺(2)通過氣浮支撐位于基座(1)上方，宏動平面電機定子(3)安裝在氣浮臺(2)上的平面上，第一工件臺(4a)和第二工件臺(4b)配置在宏動平面電機定子(3)上方，所述第一工件臺(4a)和第二工件臺(4b)運行于測量位(11)和曝光位(12)之間，測量位(11)位于基座(1)的左側，曝光位(12)位于基座(1)的右側，其特征在于該系統包括兩套平面光柵測量系統(5)，所述平面光柵測量系統(5)由平面光柵(6)、光柵讀數頭(7)、讀數頭座(8)組成，平面光柵(6)固定于基座(1)上，光柵讀數頭(7)通過讀數頭座(8)固定在氣浮臺(2)上，光柵讀數頭(7)位于平面光柵(6)正上方；兩套平面光柵測量系統(5)安裝于基座(1)中心對角對稱位置處；第一工件臺(4a)和第二工件臺(4b)為六自由度磁浮微動臺，所述六自由度磁浮微動臺由Chuck(401)、吸盤(402)、微動電機(403)、防撞框(404)、宏動平面電機動子(405)、零位傳感器(406)、調平調焦傳感器(407)、無線充電接收器(413)、無線通訊收發器(414)組成，所述微動電機(403)由微動平面電機動子(408)與重力補償器動子(409)集成在一起構成，所述吸盤(402)安裝在Chuck(401)上，Chuck(401)四個角上安裝有四個零位傳感器(406)和四個調平調焦傳感器(407)，Chuck(401)固定在微動電機(403)上，在微動電機(403)四周安裝有防撞框(404)，所述宏動平面電機動子(405)安裝在防撞框(404)下方，宏動平面電機動子(405)由磁鋼陣列(411)交錯排布構成，宏動平面電機定子(3)由線圈陣列(412)成人字形排布構成。
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