[發明專利]一種鑭鈣錳氧-鑭鍶錳氧-鈦酸鍶鉛復合薄膜及其制備方法

有效

• 申請號: 201610006430.3
• 申請日: 2016-01-06
• 公開（公告）號: CN106947959B
• 公開（公告）日: 2019-03-19
• 發明（設計）人: 董顯林;薛粉;陳瑩;王根水
• 申請（專利權）人: 中國科學院上海硅酸鹽研究所
• 主分類號: C23C18/12
• 分類號: C23C18/12
• 代理公司: 上海瀚橋專利代理事務所(普通合伙) 31261
• 代理人: 曹芳玲;鄭優麗

1.一種鑭鈣錳氧-鑭鍶錳氧-鈦酸鍶鉛復合薄膜，其特征在于，所述復合薄膜包括依次層疊形成在基底上的鑭鈣錳氧薄膜層、鑭鍶錳氧薄膜層和鈦酸鍶鉛薄膜層；所述鑭鈣錳氧-鑭鍶錳氧-鈦酸鍶鉛復合薄膜的制備方法包括：

制備鑭鈣錳氧前驅體溶液、鑭鍶錳氧前驅體溶液以及鈦酸鍶鉛前驅體溶液；

將制得的鑭鈣錳氧前驅體溶液滴加到經過預處理且高速旋轉的基底上，得到鑭鈣錳氧凝膠膜，將其置入退火爐中進行分段熱處理，得到鑭鈣錳氧薄膜；

將所得鑭鍶錳氧前驅體溶液滴加到高速旋轉的鑭鈣錳氧薄膜上，得到鑭鍶錳氧凝膠膜，將其置入退火爐中進行分段熱處理，即得到鑭鈣錳氧-鑭鍶錳氧復合薄膜；

將所得鈦酸鍶鉛前驅體溶液滴加到高速旋轉的鑭鈣錳氧-鑭鍶錳氧復合薄膜上，得到鈦酸鍶鉛凝膠膜，將其置入退火爐中進行分段熱處理，最終得到鑭鈣錳氧-鑭鍶錳氧-鈦酸鍶鉛復合薄膜。

2.根據權利要求1所述的鑭鈣錳氧-鑭鍶錳氧-鈦酸鍶鉛復合薄膜，其特征在于，所述鈦酸鍶鉛薄膜層的化學組成為Pb_xSr_(1-x)TiO₃，其中，0.4≤x≤0.7，厚度為100～500nm。

3.根據權利要求2所述的鑭鈣錳氧-鑭鍶錳氧-鈦酸鍶鉛復合薄膜，其特征在于，所述鈦酸鍶鉛薄膜層的厚度為250nm。

4.根據權利要求1所述的鑭鈣錳氧-鑭鍶錳氧-鈦酸鍶鉛復合薄膜，其特征在于，所述鑭鍶錳氧薄膜層的化學組成為La_0.7Sr_0.3MnO₃，厚度為50～300nm。

5.根據權利要求4所述的鑭鈣錳氧-鑭鍶錳氧-鈦酸鍶鉛復合薄膜，其特征在于，所述鑭鍶錳氧薄膜層的厚度為100nm。

6.根據權利要求1所述的鑭鈣錳氧-鑭鍶錳氧-鈦酸鍶鉛復合薄膜，其特征在于，所述鑭鈣錳氧薄膜層的化學組成為La_0.7Ca_0.3MnO₃，厚度為50～300nm。

7.根據權利要求1所述的鑭鈣錳氧-鑭鍶錳氧-鈦酸鍶鉛復合薄膜，其特征在于，所述鑭鈣錳氧薄膜層的厚度為100nm。

8.根據權利要求1所述的鑭鈣錳氧-鑭鍶錳氧-鈦酸鍶鉛復合薄膜，其特征在于，所述基底為單晶片。

9.根據權利要求8所述的鑭鈣錳氧-鑭鍶錳氧-鈦酸鍶鉛復合薄膜，其特征在于，所述基底為Si、LaAlO₃、SrTiO₃、MgO或YIG單晶片。

10.根據權利要求1所述的鑭鈣錳氧-鑭鍶錳氧-鈦酸鍶鉛復合薄膜，其特征在于，所述鑭鍶錳氧前驅體溶液、鈦酸鍶鉛前驅體溶液、和/或鑭鈣錳氧前驅體溶液的摩爾濃度為0.1～0.4mol/L。

11.根據權利要求1所述的鑭鈣錳氧-鑭鍶錳氧-鈦酸鍶鉛復合薄膜，其特征在于，所述高速旋轉是指轉速為3000～6000轉/分。

12.根據權利要求1～11中任一項所述的鑭鈣錳氧-鑭鍶錳氧-鈦酸鍶鉛復合薄膜，其特征在于，所述分段熱處理是指：先在150～200℃下，保溫2～4分鐘；再在340～440℃下，熱解3～30分鐘；最后在600～800℃下，退火3～60分鐘。