[發明專利]成膜裝置、帶涂膜切削工具的制造方法

有效

• 申請號: 201580074334.6
• 申請日: 2015-01-30
• 公開（公告）號: CN107208260B
• 公開（公告）日: 2019-07-19
• 發明（設計）人: 益野智行;新保谷淳;須藤俊克;河村正雄
• 申請（專利權）人: 三菱綜合材料株式會社
• 主分類號: C23C14/50
• 分類號: C23C14/50;B23B27/14;B23P15/28;C23C14/32
• 代理公司: 北京德琦知識產權代理有限公司 11018
• 代理人: 齊葵;周艷玲

1.一種成膜裝置，具備：成膜室，具有在被成膜物上形成涂膜的成膜區域；輸送裝置，輸送支撐有所述被成膜物的輸送載體；及偏置電源，經由所述輸送載體對所述被成膜物施加偏置電壓，所述成膜裝置通過一邊對所述被成膜物施加偏置電壓一邊使所述輸送載體通過所述成膜區域而形成所述涂膜，其中，

在所述輸送載體上以豎立姿勢沿載體輸送方向配置有支撐所述被成膜物并且繞軸旋轉的多個桿，

在所述桿的外周面上設置有朝向徑向外側突出的突出部件，

在所述成膜室的壁面經由絕緣部件設置有干涉部件，所述干涉部件掛住在所述成膜室內移動的所述輸送載體的所述突出部件以使所述桿繞軸旋轉，

所述干涉部件與所述偏置電源電連接，

所述成膜室還具有：加熱區域，沿載體輸送方向與所述成膜區域相鄰配置且在所述被成膜物進入所述成膜區域之前對所述被成膜物進行加熱；及載體待機區域，在所述成膜區域與所述成膜室的端部之間容納所述輸送載體。

2.根據權利要求1所述的成膜裝置，其中，

所述輸送裝置具有沿所述輸送載體的輸送方向配置的多個輸送輥，

所述干涉部件與所述偏置電源經由一個或多個所述輸送輥電連接。

3.根據權利要求1所述的成膜裝置，其中，

所述干涉部件設置在使通過所述成膜區域內的所述桿旋轉的位置。

4.根據權利要求2所述的成膜裝置，其中，

所述干涉部件設置在使通過所述成膜區域內的所述桿旋轉的位置。

5.根據權利要求3所述的成膜裝置，其中，

所述干涉部件在所述載體輸送方向上的所述成膜區域的中央部使所述桿旋轉。

6.根據權利要求4所述的成膜裝置，其中，

所述干涉部件在所述載體輸送方向上的所述成膜區域的中央部使所述桿旋轉。

7.根據權利要求1至6中任一項所述的成膜裝置，其中，

沿所述桿的圓周方向以等間隔設置有多個所述突出部件。

8.根據權利要求1所述的成膜裝置，其中，

在所述載體輸送方向上的所述成膜區域的兩側設置有所述加熱區域。

9.一種帶涂膜切削工具的制造方法，該制造方法使用成膜裝置，所述成膜裝置具備：成膜室，具有在被成膜物上形成涂膜的成膜區域；輸送裝置，輸送支撐有所述被成膜物的輸送載體；及偏置電源，經由所述輸送載體對所述被成膜物施加偏置電壓，在所述輸送載體上以豎立姿勢沿載體輸送方向配置有支撐所述被成膜物并且繞軸旋轉的多個桿，在所述桿的外周面上設置有向徑向外側突出的突出部件，在所述成膜室的壁面設置有掛住所述突出部件以使所述桿繞軸旋轉的干涉部件，其中，

所述成膜室還具有：加熱區域，沿載體輸送方向與所述成膜區域相鄰配置且在所述被成膜物進入所述成膜區域之前對所述被成膜物進行加熱；及載體待機區域，在所述成膜區域與所述成膜室的端部之間容納所述輸送載體，

所述帶涂膜切削工具的制造方法包括：

將所述切削工具搭載于輸送載體上的工序；

在所述成膜室內輸送所述輸送載體并使所述輸送載體通過所述成膜區域的工序；及

在對所述切削工具及所述干涉部件施加所述偏置電壓的狀態下，使所述干涉部件與所述突出部件干涉而使所述桿旋轉的工序，

在所述成膜室內輸送所述輸送載體，并且使所述輸送載體依次通過對所述切削工具進行加熱的所述加熱區域及所述成膜區域。

10.根據權利要求9所述的帶涂膜切削工具的制造方法，其中，

使正在通過所述成膜區域內的所述桿旋轉。

11.根據權利要求10所述的帶涂膜切削工具的制造方法，其中，

在所述載體輸送方向上的所述成膜區域的中央部使所述桿旋轉。

12.根據權利要求9所述的帶涂膜切削工具的制造方法，其中，

在所述輸送載體的輸送方向上的所述成膜區域的兩側分別配置所述加熱區域，并且使所述輸送載體在包括多個所述加熱區域及所述成膜區域的區域中往復移動，以在所述切削工具上形成多層涂膜。