[發(fā)明專利]晶片對(duì)準(zhǔn)器

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201580072362.4
• 申請(qǐng)日: 2015-11-02
• 公開（公告）號(hào): CN107112264B
• 公開（公告）日: 2021-06-04
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: A.C.博諾拉;J.格拉西亞諾
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 布魯克斯自動(dòng)化公司
• 主分類號(hào): H01L21/67
• 分類號(hào): H01L21/67;H01L21/68;H01L21/687;H01L23/544
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司 72001
• 代理人: 佘鵬;安文森

1.一種半導(dǎo)體晶片輸送裝置，包括：

框架；

輸送臂，其可移動(dòng)地安裝到所述框架，并且具有可移動(dòng)地安裝到所述臂的至少一個(gè)末端執(zhí)行器，使得所述至少一個(gè)末端執(zhí)行器與所述臂作為一個(gè)單元相對(duì)于所述框架沿第一方向橫向運(yùn)動(dòng)，并且相對(duì)于所述輸送臂沿第二方向在延伸位置和縮回位置之間線性橫向運(yùn)動(dòng)；以及

邊緣檢測傳感器，其安裝到所述輸送臂，使得所述邊緣檢測傳感器與所述輸送臂作為一個(gè)單元相對(duì)于所述框架移動(dòng)，所述邊緣檢測傳感器是實(shí)現(xiàn)在縮回位置時(shí)由所述至少一個(gè)末端執(zhí)行器同時(shí)支撐的多于一個(gè)晶片中的每個(gè)晶片的邊緣檢測的共同傳感器；

其中，所述邊緣檢測傳感器被配置成使得在縮回位置時(shí)由所述至少一個(gè)末端執(zhí)行器同時(shí)支撐的多于一個(gè)晶片中的每個(gè)晶片的情況下，每個(gè)晶片的邊緣檢測通過所述輸送臂上的所述至少一個(gè)末端執(zhí)行器中的每個(gè)末端執(zhí)行器沿所述第二方向遠(yuǎn)離縮回位置的橫向運(yùn)動(dòng)來實(shí)現(xiàn)，并與所述橫向運(yùn)動(dòng)同時(shí)發(fā)生。

2.如權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體晶片輸送裝置，其特征在于，每個(gè)末端執(zhí)行器沿所述第二方向的橫向運(yùn)動(dòng)相對(duì)于實(shí)現(xiàn)邊緣檢測的所述邊緣檢測傳感器線性輸送由所述至少一個(gè)末端執(zhí)行器同時(shí)支撐的所述多于一個(gè)晶片中的安置在所述末端執(zhí)行器上的相應(yīng)晶片。

3.如權(quán)利要求2所述的半導(dǎo)體晶片輸送裝置，其特征在于，所述邊緣檢測傳感器被配置成檢測所述晶片的邊緣并由之識(shí)別晶片位置和相對(duì)于預(yù)定參照系的未對(duì)準(zhǔn)。

4.如權(quán)利要求2所述的半導(dǎo)體晶片輸送裝置，還包括晶片對(duì)準(zhǔn)器，所述晶片對(duì)準(zhǔn)器安裝到所述輸送臂，使得所述對(duì)準(zhǔn)器和所述輸送臂相對(duì)于所述框架作為一個(gè)單元移動(dòng)，所述對(duì)準(zhǔn)器被設(shè)置成與每個(gè)末端執(zhí)行器協(xié)作并且實(shí)現(xiàn)安置在所述末端執(zhí)行器上的相應(yīng)晶片的晶片對(duì)準(zhǔn)。

5.如權(quán)利要求2所述的半導(dǎo)體晶片輸送裝置，還包括控制器，所述控制器配置成使每個(gè)末端執(zhí)行器的線性橫向運(yùn)動(dòng)循環(huán)經(jīng)過所述邊緣檢測傳感器，并且實(shí)現(xiàn)每個(gè)相應(yīng)晶片的邊緣檢測。

6.如權(quán)利要求5所述的半導(dǎo)體晶片輸送裝置，其特征在于，所述控制器被配置成在使第一晶片與安裝到所述輸送臂的晶片對(duì)準(zhǔn)器接合之前，使所有末端執(zhí)行器的線性橫向運(yùn)動(dòng)順序地循環(huán)。

7.如權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體晶片輸送裝置，其特征在于，每個(gè)末端執(zhí)行器具有獨(dú)立的驅(qū)動(dòng)器，所述驅(qū)動(dòng)器配置成使得每個(gè)末端執(zhí)行器具有沿所述第二方向的獨(dú)立的線性橫向運(yùn)動(dòng)。

8.如權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體晶片輸送裝置，其特征在于，所述至少一個(gè)末端執(zhí)行器包括第一末端執(zhí)行器和第二末端執(zhí)行器，所述末端執(zhí)行器相對(duì)于所述輸送臂各自獨(dú)立地被驅(qū)動(dòng)。

9.如權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體晶片輸送裝置，其特征在于，所述邊緣檢測是即時(shí)邊緣檢測。

10.一種晶片處理裝置，包括具有裝載端口的包圍件和如權(quán)利要求1所述的輸送裝置。