[發(fā)明專(zhuān)利]微機(jī)電陀螺儀

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201580066847.2
• 申請(qǐng)日: 2015-12-17
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN107003130B
• 公開(kāi)（公告）日: 2020-10-16
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: G.安德森;E.斯文松;B.斯托夫;N.赫登斯蒂爾納
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 賴(lài)斯阿克里奧公司
• 主分類(lèi)號(hào): G01C19/5712
• 分類(lèi)號(hào): G01C19/5712
• 代理公司: 北京市柳沈律師事務(wù)所 11105
• 代理人: 葛青

1.一種用于檢測(cè)繞合成靈敏度軸線(xiàn)(101)的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)的傳感器(100)，所述傳感器包括至少兩個(gè)雙質(zhì)量塊陀螺儀單元(102a-d)，所述陀螺儀單元中的每一個(gè)適于檢測(cè)繞相應(yīng)的陀螺儀單元的靈敏度軸線(xiàn)(104)的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)，所述靈敏度軸線(xiàn)彼此平行、并且平行于所述合成靈敏度軸線(xiàn)，所述陀螺儀單元中的每一個(gè)包括：

總慣性質(zhì)量塊(105)，所述總慣性質(zhì)量塊包括被物理地附接到彼此的第一慣性質(zhì)量塊(106)和第二慣性質(zhì)量塊(108)，所述第一和第二慣性質(zhì)量塊中的每一個(gè)被布置成與相應(yīng)的第一電極(110)和相應(yīng)的第二電極(112)空間地間隔開(kāi)、并且面對(duì)所述相應(yīng)的第一電極和所述相應(yīng)的第二電極，其中，所述第一慣性質(zhì)量塊繞所述陀螺儀單元的檢測(cè)軸線(xiàn)(127)的旋轉(zhuǎn)導(dǎo)致所述總慣性質(zhì)量塊與所述第一電極和所述第二電極中的一個(gè)電極之間的電容的正改變、以及所述總慣性質(zhì)量塊與所述第一電極和所述第二電極中的另一個(gè)電極之間的電容的負(fù)改變，其中，所述檢測(cè)軸線(xiàn)垂直于所述靈敏度軸線(xiàn)，并且當(dāng)所述陀螺儀單元經(jīng)受繞所述靈敏度軸線(xiàn)的旋轉(zhuǎn)時(shí)由科里奧利力引起所述第一慣性質(zhì)量塊的旋轉(zhuǎn)；

第一激勵(lì)器件(114)，所述第一激勵(lì)器件用于使所述第一慣性質(zhì)量塊在繞大體上垂直于所述陀螺儀單元的所述靈敏度軸線(xiàn)的第一激勵(lì)軸線(xiàn)的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)中振蕩；

第二激勵(lì)器件(116)，所述第二激勵(lì)器件用于激勵(lì)所述第二慣性質(zhì)量塊在繞大體上垂直于所述陀螺儀單元的靈敏度軸線(xiàn)、并且平行于所述第一激勵(lì)軸線(xiàn)的第二激勵(lì)軸線(xiàn)(119)的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)中振蕩，所述第二慣性質(zhì)量塊的所述振蕩與所述第一慣性質(zhì)量塊的所述振蕩反相；

其中，第一陀螺儀單元的第一慣性質(zhì)量塊被通過(guò)第一連接元件(120a)連接到第二陀螺儀單元的第一慣性質(zhì)量塊，使得所述第一陀螺儀單元的所述第一慣性質(zhì)量塊繞相應(yīng)的第一激勵(lì)軸線(xiàn)在第一方向(135)上的旋轉(zhuǎn)使所述第二陀螺儀單元的所述第一慣性質(zhì)量塊繞其相應(yīng)的第一激勵(lì)軸線(xiàn)在與所述第一方向相比相反的第二方向(136)上旋轉(zhuǎn)；并且

其中，每個(gè)陀螺儀單元的所述第一慣性質(zhì)量塊和所述第二慣性質(zhì)量塊中的每一個(gè)包括第一半部(508)和第二半部(510)，所述第一半部和所述第二半部由與所述靈敏度軸線(xiàn)平行、并且與相應(yīng)的質(zhì)量塊的激勵(lì)軸線(xiàn)交叉的軸線(xiàn)(506)的相反側(cè)限定，

其中，所述第一連接元件(120a)被連接到所述第一陀螺儀單元的所述第一慣性質(zhì)量塊的所述第一半部和所述第二陀螺儀單元的所述第一慣性質(zhì)量塊的所述第二半部。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的傳感器，其中，所述第一連接元件被連接到所述第一陀螺儀單元的所述第一慣性質(zhì)量塊的第一側(cè)(502)、并且被連接到所述第二陀螺儀單元的所述第一慣性質(zhì)量塊的第二側(cè)(504)，其中，所述第一側(cè)和所述第二側(cè)彼此面對(duì)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的傳感器，其中，所述第一連接元件是自支撐的。

4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的傳感器，其中，所述第一連接元件是S形的或Z形的。

5.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的傳感器，其中，所述第一陀螺儀單元的所述第一慣性質(zhì)量塊和所述第二陀螺儀單元的所述第一慣性質(zhì)量塊的所述振蕩同步、并且繞各自相應(yīng)的第一激勵(lì)軸線(xiàn)相對(duì)于彼此反相。

6.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的傳感器，其中，所述陀螺儀單元被設(shè)置有包括所述第一激勵(lì)器件和所述第二激勵(lì)器件的驅(qū)動(dòng)框架，所述驅(qū)動(dòng)框架被布置在所述第一和第二慣性質(zhì)量塊外部，所述驅(qū)動(dòng)框架中的每一個(gè)通過(guò)聯(lián)接構(gòu)件(125)被連接到相應(yīng)的質(zhì)量塊。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的傳感器，其中，所述第一和第二激勵(lì)器件中的每一個(gè)被構(gòu)造成使所述驅(qū)動(dòng)框架中的每一個(gè)沿著與所述靈敏度軸線(xiàn)(104)大體上平行的方向(302)交替地移動(dòng)，以便使所述第一慣性質(zhì)量塊和所述第二慣性質(zhì)量塊中的每一個(gè)分別在繞所述第一激勵(lì)軸線(xiàn)(118)和所述第二激勵(lì)軸線(xiàn)(119)的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)中振蕩。