[發明專利]用于針對汽相沉積法的層厚度測量的裝置和方法

有效

• 申請號: 201580055498.4
• 申請日: 2015-10-08
• 公開（公告）號: CN107076538B
• 公開（公告）日: 2019-10-15
• 發明（設計）人: M·岡;M·皮施;M·沙弗爾;J·舒斯特;R·索根夫雷;G·烏爾溫登
• 申請（專利權）人: NICE太陽能有限責任公司
• 主分類號: G01B7/06
• 分類號: G01B7/06;C23C14/54;G01N29/02;G01N29/036;G01N29/12
• 代理公司: 北京北翔知識產權代理有限公司 11285
• 代理人: 鄭建暉;潘飛

1.用于對能借助于汽相沉積法施加到襯底上的層進行層厚度測量的測量系統，所述測量系統具有：

-測量頭(30)，所述測量頭設有至少一個振動板(50、52)；

-脫耦段(12)，所述脫耦段能夠以第一端部(12a)與用于所述汽相沉積法的真空腔(20)通過引導氣體或引導汽體的方式耦合，并且所述脫耦段能夠以相對置的第二端部(12b)與所述測量頭(30)通過引導氣體或引導汽體的方式耦合，

其中，所述脫耦段(12)具有至少一個加熱區段(16)或至少一個冷卻區段(18)，

其中所述脫耦段(12)具有與它的第二端部(12b)鄰接的冷卻區段(18)，以及

其中所述脫耦段(12)在所述冷卻區段(18)的區域中具有冷阱(28)，所述冷阱具有至少一個能主動冷卻的側壁部區段(27)。

2.根據權利要求1所述的測量系統，其中所述脫耦段(12)具有與它的第一端部(12a)鄰接的加熱區段(16)。

3.根據前述權利要求1或2中任一項所述的測量系統，其中所述脫耦段(12)具有在所述真空腔(20)與所述測量頭(30)之間延伸的至少一個引導氣體或引導汽體的管(14)，所述至少一個引導氣體或引導汽體的管在所述加熱區段(16)的區域中由加熱器(26)圍住。

4.根據前述權利要求1或2中任一項所述的測量系統，其中所述冷卻區段(18)的能由氣體或汽體穿流的內橫截面大于所述加熱區段(16)的能由氣體或汽體穿流的內橫截面。

5.根據前述權利要求1或2中任一項所述的測量系統，其中所述冷卻區段(18)和所述加熱區段(16)沿所述脫耦段(12)的縱向方向彼此分開。

6.根據前述權利要求1或2中任一項所述的測量系統，其中所述加熱區段的至少一個加熱功率或所述冷卻區段(18)的至少一個冷卻功率能夠調節。

7.根據前述權利要求1或2中任一項所述的測量系統，其中所述加熱區段(16)占據所述脫耦段(12)的總長度的至少50％至90％。

8.根據前述權利要求1或2中任一項所述的測量系統，其中所述冷卻區段占據所述脫耦段(12)的總長度的最高10％至50％。

9.根據前述權利要求1或2中任一項所述的測量系統，其中所述測量頭(30)具有至少兩個振動板(50、52)，所述至少兩個振動板布置在能轉動的承載件(32)上并且能夠以可選方式置入到所述測量頭(30)的殼體開口(36)的區域中，所述殼體開口(36)布置在所述脫耦段(12)的第二端部(12b)的延長部中。

10.根據權利要求9所述的測量系統，其中密封插入件(40)插入到所述測量頭(30)的殼體(34)的殼體開口(36)中，并且其中所述密封插入件(40)能夠在所述殼體(34)的內部中密封式地與所述承載件(32)貼靠。

11.用于對能借助于汽相沉積施加到襯底(24)上的層進行層厚度測量的方法，所述方法應用根據前述權利要求中任一項所述的測量系統，所述方法具有如下步驟：

-使材料汽體從所述真空腔(20)脫耦，并將脫耦的材料汽體導入到所述脫耦段(12)中；

-所述脫耦段(12)的至少一個加熱或冷卻區段(16、18)的主動加熱或冷卻；

-借助于至少一個振動板(50、52)來測量所述脫耦段(12)的背離所述真空腔(20)的端部(12b)上的汽相沉積率。