[發明專利]波紋管泵裝置

有效

• 申請號: 201580053804.0
• 申請日: 2015-07-06
• 公開（公告）號: CN107002660B
• 公開（公告）日: 2019-04-05
• 發明（設計）人: 山田真照;手島一清;中野篤;浦田大輔;永江慶士
• 申請（專利權）人: 日本皮拉工業株式會社
• 主分類號: F04B43/08
• 分類號: F04B43/08;F04B43/10
• 代理公司: 北京天昊聯合知識產權代理有限公司 11112
• 代理人: 何立波;張天舒

提供一種波紋管泵裝置，其能夠減弱排出側的脈動而不會導致設置空間的大幅增加、排出量的減少。波紋管泵裝置具有：第1以及第2波紋管(13、14)，它們相互獨立且伸縮自由地安裝于泵頭(11)，通過伸長而從吸入通路(34)將流體吸入至內部，通過收縮而從內部將流體排出至排出通路(35)；第1以及第2氣缸部(27、28)，它們分別使第1以及第2波紋管(13、14)進行伸縮動作；第1以及第2檢測單元(29、31)，它們分別對第1以及第2波紋管(13、14)的伸縮狀態進行檢測；以及控制部(6)，其基于第1以及第2檢測單元(29、31)的各檢測信號，以下述方式對第1以及第2氣缸部(27、28)進行驅動控制，即，在一方的波紋管(13、14)即將變為最大收縮狀態之前，使另一方的波紋管(14、13)從最大伸長狀態進行收縮。

技術領域

本發明涉及一種波紋管泵裝置。

背景技術

在半導體制造、化學工業等中，作為用于輸送供給藥液、溶劑等流體的泵，有時使用波紋管泵。

例如專利文獻1記載的那樣，該波紋管泵以如下方式構成，即，將泵殼體連結于泵頭的左右方向(水平方向)上的兩側而形成2個空氣室，在各空氣室的內部分別設置有能夠在左右方向上伸縮的一對波紋管，將加壓空氣交替地供給至各空氣室，由此使各波紋管收縮或伸長。

在泵頭形成有與各波紋管的內部連通的流體的吸入通路和排出通路，并且設置有單向閥，該單向閥允許相對于吸入通路以及排出通路的朝向一個方向的流體的流動，阻止朝向其他方向的流體的流動。吸入通路用的單向閥構成為，通過波紋管的伸長而打開，由此允許流體從吸入通路向波紋管內的流動，通過波紋管的收縮而關閉，由此阻止流體從該波紋管內向吸入通路的流動。另外，排出通路用的單向閥構成為，通過波紋管的伸長而關閉，由此阻止流體從排出通路向波紋管內的流動，通過波紋管的收縮而打開，由此允許流體從波紋管內向排出通路的流動。

一對波紋管通過連結桿將連結為一體，如果一方的波紋管收縮而將流體向排出通路排出，則另一方的波紋管與其同時強制性地伸長而將流體從吸入通路吸入。另外，如果所述另一方的波紋管收縮而將流體向排出通路排出，則所述一方的波紋管與其同時強制性地伸長而將流體從吸入通路吸入。

對于上述結構的波紋管泵而言，在流體的排出和吸入的切換定時，排出壓力一下子降低至零附近的現象(脈動)成為問題。當前，為了抑制該脈動，采取如下措施，即，將儲壓器(蓄壓器)安裝于波紋管泵的排出側(例如，參照專利文獻2)，或者使用代替儲壓器而內置有一對波紋管中的一者的波紋管泵(例如，參照專利文獻3)。

專利文獻1：日本特開2001-248741號公報

專利文獻2：日本特開平8-159016號公報

專利文獻3：日本特開2001-123959號公報

發明內容

然而，在使用專利文獻2中所記載的儲壓器的情況下，必須設置與波紋管泵分體的儲壓器，因此這些部件的設置需要較大的空間。另外，在專利文獻3中所記載的內置有儲壓器的波紋管泵的情況下，存在如下問題，即，僅利用單側的波紋管將流體排出，因此與具有一對波紋管的波紋管泵相比，流體的排出量減少。

本發明就是鑒于這樣的情形而提出的，其目的在于提供一種波紋管泵裝置，該波紋管泵裝置能夠減弱排出側的脈動而不會導致設置空間的大幅增加、排出量的減少。