[發(fā)明專利]研磨用組合物及研磨方法在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 201580052783.0 | 申請日： | 2015-08-28 |
| 公開（公告）號： | CN106687554A | 公開（公告）日： | 2017-05-17 |
| 發(fā)明（設計）人： | 石田康登 | 申請（專利權）人： | 福吉米株式會社 |
| 主分類號： | C09K3/14 | 分類號： | C09K3/14;B24B37/00;C09G1/02;H01L21/304 |
| 代理公司： | 北京林達劉知識產(chǎn)權代理事務所(普通合伙)11277 | 代理人： | 劉新宇;李茂家 |
| 地址： | 暫無信息 | 國省代碼： | 日本;JP |
| 權利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 研磨 組合 方法 | ||
【說明書】：
下載完整專利技術內(nèi)容需要扣除積分，VIP會員可以免費下載。
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息，商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于福吉米株式會社，未經(jīng)福吉米株式會社許可，擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業(yè)授權和技術合作，請聯(lián)系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/201580052783.0/2.html，轉載請聲明來源鉆瓜專利網(wǎng)。
