[發明專利]用于外延腔室的襯墊

有效

• 申請號: 201580045428.0
• 申請日: 2015-08-14
• 公開（公告）號: CN106605288B
• 公開（公告）日: 2019-10-15
• 發明（設計）人: 劉樹坤;穆罕默德·圖格魯利·薩米爾;亞倫·米勒
• 申請（專利權）人: 應用材料公司
• 主分類號: H01L21/02
• 分類號: H01L21/02;H01L21/324;H01L21/67
• 代理公司: 北京律誠同業知識產權代理有限公司 11006
• 代理人: 徐金國;趙靜

1.一種襯墊組件，包括：

上襯墊，所述上襯墊包括：

圓筒狀上主體，所述圓筒狀上主體具有：

外表面與內表面，所述內表面形成處理空間的壁；

多個上入口，所述多個上入口形成為與所述圓筒狀上主體相連；

上排氣通口，所述上排氣通口定位在所述多個上入口對面；

上交叉流通口，所述上交叉流通口定位成與所述上排氣通口不平行；和

下襯墊，所述下襯墊包括：

圓筒狀下主體，所述圓筒狀下主體具有：

多個下入口，所述多個下入口形成為與所述圓筒狀下主體相連，

所述多個下入口與所述多個上入口一同界定多個氣體通路；

下排氣通口，所述下排氣通口流體連接所述上排氣通口；

下交叉流通口，所述下交叉流通口流體連接所述上交叉流通口；

以及

熱感測通口，所述熱感測通口與所述下交叉流通口分隔。

2.如權利要求1所述的襯墊組件，其中所述熱感測通口、所述下交叉流通口、所述下排氣通口、與所述多個氣體通路在所述內表面處位于共用平面。

3.如權利要求2所述的襯墊組件，其中所述下交叉流通口具有一定向，用以引導所述共用平面外的氣流。

4.如權利要求1所述的襯墊組件，其中所述多個上入口具有入口與出口，所述入口穿過所述外表面而形成，且所述出口穿過所述內表面而形成，其中所述入口與所述出口彼此不共平面。

5.如權利要求4所述的襯墊組件，其中所述入口至少一個流體連接至超過一個所述出口，或者其中所述出口至少一個流體連接至超過一個所述入口。

6.如權利要求1所述的襯墊組件，其中所述下交叉流通口定位在0度位置處，且所述多個下入口的中點定位在90度位置處，所述位置是從所述下交叉流通口的對分線量起。

7.如權利要求6所述的襯墊組件，其中所述熱感測通口定位在5度位置處，所述位置是從所述對分線量起。

8.如權利要求1所述的襯墊組件，其中所述多個下入口產生多個流動區域，所述流動區域彼此平行，且垂直于來自所述下交叉流通口的對分線。

9.一種襯墊組件，包括：

上襯墊，所述上襯墊包括：

圓筒狀上主體，所述圓筒狀上主體具有：

上突出部；

多個上入口，所述多個上入口形成為與所述圓筒狀上主體相連；

上排氣通口，所述上排氣通口定位成平行于所述多個上入口；和上交叉流通口，所述上交叉流通口定位成垂直于所述上排氣通口；

以及

下襯墊，所述下襯墊包括：

圓筒狀下主體，所述圓筒狀下主體具有接收槽以接收所述上突出部；

多個下入口，所述多個下入口形成為與所述圓筒狀主體相連，所述多個下入口與所述多個上入口一同界定多個氣體通路；

下排氣通口，所述下排氣通口流體連接所述上排氣通口；

下交叉流通口，所述下交叉流通口流體連接所述上交叉流通口；以及

熱感測通口，所述熱感測通口與所述下交叉流通口間隔開。

10.如權利要求9所述的襯墊組件，其中所述熱感測通口、所述交叉流通口、所述排氣通口、與所述多個上入口具有共用平面。

11.如權利要求9所述的襯墊組件，其中所述多個下入口不與所述多個上入口共平面。

12.如權利要求9所述的襯墊組件，其中所述交叉流通口定位在0度位置處，且所述多個氣體通路的中點定位在90度位置處，所述位置是從所述交叉流通口的對分線量起。

13.如權利要求12所述的襯墊組件，其中所述熱感測通口定位在5度位置處，所述位置是從對分線量起且位在外周邊處。