[發明專利]壓電傳感器以及檢測裝置在審
| 申請號： | 201580042164.3 | 申請日： | 2015-03-30 |
| 公開（公告）號： | CN106574828A | 公開（公告）日： | 2017-04-19 |
| 發明（設計）人： | 源明裕也;井上二郎;市丸正幸 | 申請（專利權）人： | 株式會社村田制作所 |
| 主分類號： | G01B7/16 | 分類號： | G01B7/16;H01L41/047;H01L41/053;H01L41/113 |
| 代理公司： | 中科專利商標代理有限責任公司11021 | 代理人： | 薛凱 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 壓電 傳感器 以及 檢測 裝置 | ||
【權利要求書】：
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