[發(fā)明專(zhuān)利]ESD保護(hù)裝置及其制造方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201580039252.8
• 申請(qǐng)日: 2015-07-23
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN106537701B
• 公開(kāi)（公告）日: 2017-11-07
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 奧冨讓仁;足立淳
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 株式會(huì)社村田制作所
• 主分類(lèi)號(hào): H01T2/02
• 分類(lèi)號(hào): H01T2/02;H01T1/20;H01T4/10;H01T4/12;H01T21/00
• 代理公司: 北京集佳知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司11227
• 代理人: 李洋,青煒

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及ESD保護(hù)裝置及其制造方法。

背景技術(shù)

以往，作為ESD保護(hù)裝置，有WO2008/146514(專(zhuān)利文獻(xiàn)1)記載的裝置。該ESD保護(hù)裝置具有：由陶瓷構(gòu)成的結(jié)構(gòu)體、設(shè)置于結(jié)構(gòu)體內(nèi)的第1放電電極、第2放電電極以及放電輔助電極。第1放電電極和第2放電電極隔著間隙對(duì)置。放電輔助電極設(shè)置于第1放電電極與第2放電電極之間的間隙。

專(zhuān)利文獻(xiàn)1:WO2008/146514

然而，在上述以往的ESD保護(hù)裝置中，若靜電在第1放電電極與第2放電電極之間放電，則伴隨著放電發(fā)熱。特別是，當(dāng)靜電經(jīng)由放電輔助電極放電時(shí)，放電輔助電極接受由放電形成的熱負(fù)荷。令人擔(dān)憂(yōu)的是，放電輔助電極存在因由放電形成的熱負(fù)荷而出現(xiàn)劣化。

發(fā)明內(nèi)容

因此，本發(fā)明的課題在于提供減少施加于放電輔助電極的熱負(fù)荷，從而能夠抑制放電輔助電極的劣化的ESD保護(hù)裝置及其制造方法。

為了解決上述課題，本發(fā)明的ESD保護(hù)裝置的特征在于，具備：

結(jié)構(gòu)體，其層疊多個(gè)陶瓷層而構(gòu)成；

第1放電電極和第2放電電極，它們?cè)O(shè)置于上述結(jié)構(gòu)體內(nèi)，并且具有間隙地對(duì)置；以及

放電輔助電極，其被設(shè)置為，從上述陶瓷層的層疊方向觀察，該放電輔助電極與上述間隙重疊，

上述結(jié)構(gòu)體具有空腔部，該空腔部相對(duì)于上述第1放電電極和上述第2放電電極設(shè)置于與上述放電輔助電極相反的一側(cè)并且與上述間隙相連，

上述空腔部的內(nèi)表面具有第1內(nèi)表面和第2內(nèi)表面，在包含上述層疊方向的截面中，上述第1內(nèi)表面和第2內(nèi)表面在上述層疊方向上排列配置并且相對(duì)于上述層疊方向傾斜。

此處，第1內(nèi)表面與第2內(nèi)表面包含平坦面、凹曲面、凸曲面。

根據(jù)本發(fā)明的ESD保護(hù)裝置，空腔部的內(nèi)表面具有：在包含陶瓷層的層疊方向的截面中，相對(duì)于陶瓷層的層疊方向傾斜的第1內(nèi)表面和第2內(nèi)表面，因此能夠增加空腔部的內(nèi)表面的表面積。因此，靜電的放電時(shí)產(chǎn)生的熱從空腔部的內(nèi)表面更好地釋放，其結(jié)果，施加于放電輔助電極的熱負(fù)荷減少，抑制放電輔助電極的劣化。

另外，在一實(shí)施方式的ESD保護(hù)裝置中，上述第1內(nèi)表面和上述第2內(nèi)表面在上述層疊方向上朝向相同的方向地向相同的方向傾斜。

另外，在一實(shí)施方式的ESD保護(hù)裝置中，上述第1內(nèi)表面和上述第2內(nèi)表面在上述層疊方向上朝向相反方向地向相反方向傾斜。

另外，在一實(shí)施方式的ESD保護(hù)裝置中，上述第1內(nèi)表面的內(nèi)徑和上述第2內(nèi)表面的內(nèi)徑成為相同的大小。

另外，在一實(shí)施方式的ESD保護(hù)裝置中，上述第1內(nèi)表面的內(nèi)徑和上述第2內(nèi)表面的內(nèi)徑成為不同大小。

本發(fā)明的ESD保護(hù)裝置的制造方法的特征在于，具備如下工序：

在第1陶瓷片上，形成包含相對(duì)于與上述第1陶瓷片的平面方向正交的方向傾斜的第1內(nèi)表面的第1孔部，準(zhǔn)備上述第1陶瓷片；

在第2陶瓷片上，形成包含相對(duì)于與上述第2陶瓷片的平面方向正交的方向傾斜的第2內(nèi)表面的第2孔部，準(zhǔn)備上述第2陶瓷片；

在基臺(tái)用陶瓷片之上設(shè)置放電輔助電極，在上述放電輔助電極之上設(shè)置上述第1放電電極和上述第2放電電極，并使第1放電電極與第2放電電極具有間隙地對(duì)置；

在上述第1放電電極和上述第2放電電極之上，依次層疊上述第1陶瓷片、上述第2陶瓷片以及覆蓋用陶瓷片，并使上述第1孔部和上述第2孔部與上述間隙重疊，形成層疊體；以及

燒制上述層疊體，由上述第1孔部和上述第2孔部形成與上述間隙相連的空腔部。

此處，第1內(nèi)表面與第2內(nèi)表面包含平坦面、凹曲面、凸曲面。

根據(jù)本發(fā)明的ESD保護(hù)裝置的制造方法，由第1孔部和第2孔部形成與間隙相連的空腔部，因此第1孔部的第1內(nèi)表面與第2孔部的第2內(nèi)表面相對(duì)于陶瓷片的層疊方向傾斜。因此，能夠增加空腔部的內(nèi)表面的表面積，靜電的放電時(shí)產(chǎn)生的熱從空腔部的內(nèi)表面更好地釋放。其結(jié)果，減少施加于放電輔助電極的熱負(fù)荷，從而能夠抑制放電輔助電極的劣化。

另外，在一實(shí)施方式的ESD保護(hù)裝置的制造方法中，上述第1孔部和上述第2孔部由激光形成。

根據(jù)上述實(shí)施方式的ESD保護(hù)裝置的制造方法，第1孔部和第2孔部由激光形成，因此能夠容易地形成第1孔部和第2孔部。

另外，在一實(shí)施方式的ESD保護(hù)裝置的制造方法中，

在準(zhǔn)備上述第1陶瓷片的工序中，在上述第1孔部中填充在燒制時(shí)具有被燒光的性質(zhì)的膏，