[發(fā)明專(zhuān)利]用于薄膜沉積的含鉬及鎢的前體在審
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201580036562.4 | 申請(qǐng)日： | 2015-07-07 |
| 公開(kāi)（公告）號(hào)： | CN106536641A | 公開(kāi)（公告）日： | 2017-03-22 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 克里斯汀·杜斯拉特;安托萬(wàn)·科拉斯;金鐘珉 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人： | 喬治洛德方法研究和開(kāi)發(fā)液化空氣有限公司 |
| 主分類(lèi)號(hào)： | C09D1/00 | 分類(lèi)號(hào)： | C09D1/00;C23C16/44;H01L51/50 |
| 代理公司： | 北京市中咨律師事務(wù)所11247 | 代理人： | 彭立兵,林柏楠 |
| 地址： | 法國(guó)*** | 國(guó)省代碼： | 暫無(wú)信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 用于 薄膜 沉積 | ||
【權(quán)利要求書(shū)】：
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