[發明專利]用于檢查半導體晶片的X光檢查設備在審
| 申請號： | 201580018574.4 | 申請日： | 2015-04-03 |
| 公開（公告）號： | CN106164655A | 公開（公告）日： | 2016-11-23 |
| 發明（設計）人： | 約翰·廷吉;威廉·T·瓦爾克;凱特·斯圖爾特 | 申請（專利權）人： | 諾信公司 |
| 主分類號： | G01N23/083 | 分類號： | G01N23/083;G01N23/04;G01N23/02 |
| 代理公司： | 中原信達知識產權代理有限責任公司 11219 | 代理人： | 沈同全;車文 |
| 地址： | 美國俄*** | 國省代碼： | 美國;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 用于 檢查 半導體 晶片 設備 | ||
【權利要求書】：
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